北京
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国家知识产权局信息显示，中山大学、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请一项名为“一种高长径比靶材及其制备方法和应用”的专利，公开号CN121342482A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种高长径比靶材及其制备方法和应用。本发明的高长径比靶材的制备方法包括以下步骤：1)制备混合物粉体；2)将混合物粉体进行预烧，得到预烧粉体；3)将预烧粉体、粘结剂、分散剂和溶剂混合进行球磨或砂磨，再进行干燥和造粒，得到造粒颗粒；4)将不同粒径的造粒颗粒注入模具，通过多段分级升压保压进行成型，得到坯件；5)将坯件进行烧结，得高长径比靶材。本发明通过改进坯体压制过程、靶材组成成分、预烧与烧结的气氛、造粒颗粒组成、烧结工艺等，制备得到了高长径比、均匀性好、具有一定电导率、在电子束轰击过程中不会炸裂的靶材，适合进行大规模工业化生产和应用。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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