北京
国家知识产权局信息显示，上海光通信有限公司申请一项名为“一种管路以及一种次常压化学气相沉积设备”的专利，公开号CN121344561A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请属于半导体技术领域，尤其涉及一种管路以及一种次常压化学气相沉积设备。本申请提供了一种管路，包括：管路主体、氮气通气部以及气泵；氮气通气部包括：加热管以及通气片，通气片设有若干孔状结构，通气片安装于管路主体的侧壁，氮气经加热管加热后通过通气片的孔状结构进入管路主体。本申请还提供了一种包括上述管路的次常压化学气相沉积设备。本申请提供的技术方案中，通过加热管对氮气加热后避免了冷凝引起的聚集，同时，分流的氮气可以分散的进入管路中，更有利于管壁的颗粒清除，从而有效降低管路清理频率；解决了现有技术中，沉积设备的管路中附着的材料需要频繁进行清洗维护的技术缺陷。
天眼查资料显示，上海光通信有限公司，成立于1988年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析，上海光通信有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目56次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息54条，此外企业还拥有行政许可182个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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