北京
国家知识产权局信息显示，杰莱特（苏州）精密仪器有限公司取得一项名为“一种射频偏压清洗结构”的专利，授权公告号CN223801113U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体加工技术领域，提供了一种射频偏压清洗结构，包括真空腔室，所述真空腔室内壁顶面设有上电极板，所述真空腔室的表面设有带动上电极板升降的驱动组件，所述上电极板底面可拆卸设有基板；所述真空腔室内壁底面设有下电极板，所述下电极板从上到下的方向上依次包括匀气上盘、匀气下盘和绝缘板，所述匀气下盘内设有气体分流盘，且所述匀气上盘上设有多个匀气孔；所述真空腔室底面设有为下电极板供电的射频电源引入装置。本实用新型提供的射频偏压清洗结构不仅可以做到工艺气体均匀流入，从而实现基板均匀清洗的效果；通过调节上下电极之间的距离，找到最佳清洗位置；整套设备集成度高，使设备更加紧凑,减少了设备占用的空间。
天眼查资料显示，杰莱特（苏州）精密仪器有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本4700万人民币。通过天眼查大数据分析，杰莱特（苏州）精密仪器有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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