代理德国thyracont皮拉尼真空计

大连力迪流体控制技术有限公司作为thyraconts代理，诚挚为各位提供德国thyracont全系列产品。

一、Thyracont品牌核心优势

德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。其产品融合传统工艺与现代技术，例如首创的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器，已成为行业标准。

真空表优势：

• 具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本

• 响应速度快，精度高

• 防护等级最高可达IP54

• 法兰处耐温度，高达160摄氏度

• 输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接

• 磁控溅射镀膜设备以及离子镀膜设备所需的超高真空度范围，thyracont的VSM冷阴极和VSH热阴极复合真空规
• VSM 1000到5*E-9mbar（5*E-7Pa） 皮拉尼/冷阴极

1. 磁控溅射是一种物理气相沉积技术，利用磁场和电场约束电子，提高溅射效率。磁控溅射的工作过程，比如氩离子轰击靶材，溅射原子沉积到基片上形成薄膜。其中，在真空腔室（通常抽至1*E-5mbar(1*E-3Pa)量级）中通入氩气。

• 通常会使用皮拉尼冷阴极复合规。
• VSH 1000到5*E-10mbar（5*E-8Pa） 皮拉尼/热阴极

1. 离子镀膜设备是基于物理气相沉积（PVD）技术的高精度表面处理设备，通过等离子体环境中的离子轰击实现膜层沉积，广泛应用于工具、装饰、电子、光学等领域。
2. 磁控溅射需本底真空≤5×10⁻⁶ Torr（≈6.67×10⁻⁴ Pa）以避免油蒸气污染
3. 半导体/光学镀膜（如晶圆封装、滤光片）
   

• 
  真空度
  ：晶圆封装需<5×10⁻⁷ mbar（≈5×10⁻⁵ Pa），光学镀膜需<1×10⁻⁶ Pa
  目标
  ：纳米级膜厚精度（±1%），避免气体吸附导致的光学损耗通常会使用皮拉尼热阴极复合规

各品牌产品对比

型号

Thyracont图拉特

VSM77

英福康

MPG4XX

莱宝

PTR90RN

爱德华

WRG200

测量范围

1000---5e-9mbar

1000mbar---5e10-9mbar

1000---1e-8mbar

1x10⁻⁹ to 1000 mbar

精度

1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading

10 ... 2.0x10-3 mbar: 10% f. reading

2.0x10-3 ... 1.0x10-8 mbar: 25% f. reading

30%reading

100 to 1000 ±25% of reading

1e-3 to 100 ±5% of reading

5e-4 to 1 e-3 ±10% of reading

1e10-8 to 1 e10-3 ±30% of reading

<30% ：1x10⁻⁹ to 1x10⁻3³

<15% ：from 1x10⁻3³ to 10mbar

常用的范围内thyracont精度要高于其他品牌