北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具有多个冷却板的处理腔室”的专利，公开号CN121336002A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本文提供了具有冷却板的处理腔室的实施例。在一些实施例中，一种处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体在其中限定内部容积，所述腔室主体具有观察端口侧、泵侧和闸门侧，所述观察端口侧具有被配置为观察端口的开口，所述泵侧具有泵端口，所述闸门侧与所述观察端口侧相对，其中所述端口观察侧、所述泵侧和所述闸门侧全部都是所述腔室主体的不同侧；第一冷却板，所述第一冷却板耦接到所述观察端口侧并具有一个或多个第一冷却剂通道；第二冷却板，所述第二冷却板耦接到所述泵侧并具有一个或多个第二冷却剂通道；以及第三冷却板，所述第三冷却板耦接到所述闸门侧并具有一个或多个第三冷却剂通道。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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