国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“一种深沟槽隔离结构及其制备方法、半导体器件”的专利,公开号CN121335521A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请公开一种深沟槽隔离结构及其制备方法、半导体器件,涉及半导体技术领域。该深沟槽隔离结构的制备方法,包括:提供衬底;刻蚀衬底,形成具有第一深度的深沟槽;在深沟槽内填充隔离材料;刻蚀隔离材料外周的衬底,形成具有第二深度的环状槽,第二深度小于第一深度;填充应力材料至环状槽,形成环状部,衬底的晶格常数小于应力材料的晶格常数,以使环状部具有朝向中心的应力;对形成有环状部和隔离材料的衬底进行快速热退火处理,形成深沟槽隔离结构。该深沟槽隔离结构能够提高深沟槽隔离结构的表面形态,降低生产难度。
天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目48次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息191条,此外企业还拥有行政许可180个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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