北京
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“一种半导体刻蚀设备及其控制方法”的专利，公开号CN121331731A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体刻蚀设备及其控制方法，半导体刻蚀设备包括栅网和至少一个电磁线圈；栅网包括多个网孔，离子束可以通过栅网的网孔进行引出。电磁线圈围绕至少一个网孔或多个网孔环绕电磁线圈，至少一个电磁线圈用于提供目标形状和目标强度的磁场，以利用目标形状和目标强度的磁场控制通过多个网孔的离子束的空间分布，也就是说，通过在网孔周围预先设置至少一个电磁线圈，通过设置至少一个电磁线圈的位置以及电流大小确定目标形状和目标强度的磁场，目标形状和目标强度的磁场就能够对通过网孔的离子束进行空间分布的调控，从而实现对离子束的空间分布进行多种场景的调控。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目257次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息469条，此外企业还拥有行政许可14个。
北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息513条，此外企业还拥有行政许可125个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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