北京
国家知识产权局信息显示，浙江精工领航科技有限公司申请一项名为“一种自清洁式低压化学气相沉积设备”的专利，公开号CN121295141A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种自清洁式低压化学气相沉积设备，包括气相沉积炉及设于其内的自清洁装置。自清洁装置核心为可轴向升降的座体总成，其上集成有供气组件、调节组件及气路组件。供气组件通过可周向旋转与径向伸缩的喷嘴向炉腔内均匀喷射清洗气体，与沉积物反应；调节组件驱动喷嘴实现全方位覆盖清洗。气路组件根据座体总成位置自动控制供气与抽气管路的通断。本发明实现了在线、自动、均匀的干法等离子清洗，有效清除沉积物，避免了传统人工清洗的停机长、污染风险大等问题，显著提升了设备清洗效率、运行安全性及工艺适应性。
天眼查资料显示，浙江精工领航科技有限公司，成立于2015年，位于绍兴市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江精工领航科技有限公司参与招投标项目16次，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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