北京
国家知识产权局信息显示，上海新傲芯翼科技有限公司申请一项名为“键合晶圆损伤层的表征方法”的专利，公开号CN121310975A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种键合晶圆损伤层的表征方法，包括：S1：提供键合晶圆，所述键合晶圆的背面形成有背面氧化层，所述背面氧化层的表面形成有损伤层；S2：执行第一刻蚀工艺刻蚀去除部分厚度的所述损伤层，并测量刻蚀后所述键合晶圆背面的缺陷数量和颗粒数量及所述第一刻蚀工艺的刻蚀厚度d1；S3：执行清洗工艺去除所述键合晶圆的表面颗粒；S4：执行第二刻蚀工艺刻蚀所述损伤层，所述第二刻蚀工艺的刻蚀速率小于所述第一刻蚀工艺的刻蚀速率；循环执行步骤S4，直至测量到的所述键合晶圆背面的缺陷数量保持稳定。本发明能够精确表征晶圆的损伤层，不仅能够精准测得损伤层的厚度，还能表征损伤层内的缺陷密度。
天眼查资料显示，上海新傲芯翼科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本80000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标项目26次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息53条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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