国家知识产权局信息显示,江苏三米科思半导体设备有限公司申请一项名为“适用于晶圆缺陷检测的物镜光学系统”的专利,公开号CN121299886A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种适用于晶圆缺陷检测的物镜光学系统,包括:由物侧到像侧依次设置的第一镜组、第二镜组和第三镜组;其中第一镜组包括由物侧到像侧依次设置的具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜、具有正光焦度的第三透镜和具有正光焦度的第四透镜;第二镜组包括由物侧到像侧依次设置的具有正光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜、具有负光焦度的第七透镜、具有正光焦度的第八透镜、具有正光焦度的第九透镜和具有正光焦度的第十透镜;第三镜组包括由物侧到像侧依次设置的具有正光焦度的第十一透镜、具有正光焦度的第十二透镜、具有正光焦度的第十三透镜、具有正光焦度的第十四透镜、具有正光焦度的第十五透镜和具有负光焦度的第十六透镜。
天眼查资料显示,江苏三米科思半导体设备有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏三米科思半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息2条,专利信息19条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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