2022年10月7日,美国直接限制14纳米以下逻辑芯片设备、128层以上NAND闪存设备和18纳米以下DRAM内存设备的对华销售。目的很明显,就是卡住中国高端芯片制造的脖子。
当时,荷兰的ASML还能出口部分浸没式光刻机,比如NXT:1980Di这种,通过多重曝光,能勉强搞出7纳米芯片,虽然成本高、良率低,但总比没有强。
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中国企业一看苗头不对,赶紧囤货。2023年前九个月,从ASML进口的光刻机价值就超数百亿元,浸没式机器数量估计近百台。这些家伙进了厂,马上上线生产,够用几年没问题。
到2023年10月17日,美国又升级管制,对AI芯片和光刻机要求更严,调整了DCO值门槛,直接把ASML的NXT:1980Di也堵死了。中国这边,早有准备,库存够撑一阵子。2024年12月2日,美国商务部再加码,管制扩展到半导体设备、软件和高带宽内存。
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荷兰政府2025年1月17日跟进,干脆不公开大部分对华销售数据。2025年3月,新一届美国政府把几十家中国实体拉进黑名单,荷兰对华出口金额4月掉超10%。
海关数据看,中国买家之前囤的那些高端工具,基本够用。ASML股价2025年5月28日大跌,丢了上千亿美元市值,受出口限和关税影响。公司表示,有长周期库存应对中国稀土管制,但对华发货锐减。
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中国企业不傻,早转向内部调整。2025年10月15日,ASML财务主管还说,公司准备好面对中国稀土出口管制。欧洲智库讨论对DUV机器的惩罚性禁令,作为反击。中国半导体厂里,那些进口机器嗡嗡转,维持产能。
整个过程像场拉锯战,美国层层加压,中国则靠提前储备顶住。数据显示,2025年前,中国自给率在清洗和刻蚀设备上达50%到60%。
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美国这手,表面禁新机销售,实际更阴的是等旧机出毛病。2023年10月20日,美国商务部工业与安全副部长艾伦·艾斯特韦斯在采访中直说,这些管制连零部件都管,那些机器早晚出故障。
意思明摆着,已买到的浸没式光刻机,用着用着总有坏的时候,像镜头磨损或光源失效啥的,到时维修换件得美国许可。没许可,就成废铁。中国囤了上百台,但美国算准,原厂服务靠ASML,许可审批层层关,拖几个月正常。艾斯特韦斯没藏着掖着,说这是公开策略,等机器没法修,中国7纳米芯片生产就卡壳。
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2024年4月5日,美国催荷兰别修中国先进芯片设备。荷兰公司ASML,本来还能卖老款DUV,但美国压着不让服务太先进的。2024年6月19日,艾斯特韦斯去盟国游说,重复要求紧缩ASML和东京电子的对华限制。
2023年10月21日,他还说管制会拖慢中国本土半导体发展。中国企业面对这,评估维护方式,但零件依赖进口,审批复杂。2024年9月6日,美国再控先进科技出口,包括AI芯片。2024年8月2日,美国用冷战老规矩,扩展管制,防中国从新加坡、马来西亚搞到禁运工具和高端芯片。
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中国这边,工程师研究易损件生产,减少原厂依赖。2025年1月,中国团队拆解浸没式机器,测尺寸,试兼容性。但美国管制下,ASML工程师入境难,许可证要详细报告,等几个月。2025年3月,艾斯特韦斯在限制更新中,扩展到软件工具。
2025年5月,ASML报告说,出口限影响2025年展望,对华发货少。中国半导体厂产量维持,但美国等故障发挥作用。2025年9月,华为计划双倍AI芯片产量,靠现有设备。2025年12月,艾斯特韦斯报告称管制有效。这些细节显出,美国通过零件卡维修,长期影响中国芯片能力。说白了,这阳谋就是知道中国囤机了,还禁,就是赌你修不好。
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中国半导体行业不等天上掉馅饼,早启动自主维修和国产研发。2025年2月,深圳实验室研究易损部件制造。2025年3月27日,SMIC搞定5纳米工艺。华为2025年第一季度加大910C生产。
2025年9月15日,SMIC计划7纳米产能翻倍。2025年12月17日,中国建EUV原型机。2025年12月18日,报道说中国用老ASML部件组EUV原型,目标2028年造芯片。深圳团队2025年初完成原型,用前ASML工程师建,占整个厂房。
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中国自给率升,清洗刻蚀设备50-60%。整个过程,中国从被动囤机,转主动突破。问题逐步解,美国管制虽卡一时,但中国国产化加速,前景不愁。
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