国家知识产权局信息显示,苏州芯澈半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于傅里叶面探测的微纳米精度的缺陷检测装置”的专利,公开号CN121298740A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及一种基于傅里叶面探测的微纳米精度的缺陷检测装置,包括光源,线性渐变滤波片,偏振片,中继镜组,平面分光镜,显微物镜,后端镜组、频谱面以及相机;线性渐变滤波片、偏振片、中继镜组从左至右依次按水平光路同轴布设,平面分光镜设置于中继镜组后方,平面分光镜的镜面与水平方向成45度角,显微物镜设置于平面分光镜下方且显微物镜对准待测样品,后端镜组和频谱面从下往上依次设置于平面分光镜的上方,相机安装于频谱面上方,用于探测待测物体的频谱面光信息。本发明能够同时采集包含连续测量波段、连续测量角度的光信息。
天眼查资料显示,苏州芯澈半导体科技有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本735.1034万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州芯澈半导体科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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