北京
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司;清华大学申请一项名为“基于人工智能多模态融合的缺陷分析与工艺优化方法”的专利，公开号CN121280408A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种基于人工智能多模态融合的缺陷分析与工艺优化方法，其中，方法包括：将芯片或器件设计版图、预期工艺流程与参数以及预期电学性能曲线的虚拟数据分别输入至图像编码器、工艺编码器和电学编码器中，以提取对应的特征向量；根据交叉注意力融合机制将对应的特征向量进行跨模态信息交互；确定表征图像、缺陷类别、根因类别以及工艺参数修正建议；基于制造执行系统MES、电子设计自动化EDA工具或设备接口，修正工艺参数，得到从缺陷分析到工艺优化的闭环控制结果。由此，解决了由于数据维度单一，各类缺陷相互耦合，且受到背景噪声的影响，机器识别准确率有限，人工专家判断则工作量过大、效率较低的问题。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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