北京
国家知识产权局信息显示，华润微电子控股有限公司申请一项名为“一种MEMS压力传感器及其制造方法、电子装置”的专利，公开号CN121247717A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，提供一种MEMS压力传感器及其制造方法、电子装置，该方法包括：提供第一衬底，在第一衬底的表面上形成有至少两个第一压力结构，第一压力结构包括第一电极层、第一牺牲层、第一支撑层、第二电极层和第二支撑层，还包括第一空腔，以及第一释放孔；提供第二衬底，在第二衬底的表面上形成有至少两个第二压力结构，第二压力结构包括第三电极层和第二牺牲层，还包括第二空腔；将第二支撑层与第二牺牲层进行键合；去除第二衬底以露出第三电极层，第三电极层与第二电极层构成可变电容结构，第二电极层和第一电极层构成参考电容结构，两个可变电容结构和两个参考电容结构共同构成惠斯通电桥。本发明方案提高了测量精度，进而提高了器件性能。
天眼查资料显示，华润微电子控股有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本141126.4485万美元。通过天眼查大数据分析，华润微电子控股有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息167条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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