国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“单晶炉抽真空系统及抽真空方法”的专利,公开号CN121250531A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,一种单晶炉抽真空系统及抽真空方法,包括至少两台并联布设的单晶炉、以及干式真空泵;每台单晶炉对应的设置有第一真空管路、第二真空管路;第一真空管路、第二真空管路并联,第一真空管路的进口端连通单晶炉、出口端连通外界,第二真空管路的进口端连通单晶炉、出口端连通干式真空泵的进口端;干式真空泵的出口端通过管道与外界连通。本发明通过阀门切换,在检漏/高真空阶段自动启用干式真空泵;在正常拉晶阶段切换到水环泵,减少干式真空泵接触粘稠磷化物的机会;一旦运行中的水环泵发生故障,系统能自动切换到干式真空泵,避免因返气造成的生产损失。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息347条,此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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