北京
国家知识产权局信息显示，上海隆宇芯航能源科技有限公司申请一项名为“基于等离子体本征频率调制的自适应磁场溅射方法及装置”的专利，公开号CN121250323A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及基于等离子体本征频率调制的自适应磁场溅射方法及装置，所述方法基于溅射装置，所述溅射装置包括真空腔体、旋转靶材、永久磁铁，所述旋转靶材安装在真空腔体内，所述永久磁铁安装在旋转靶材内；所述方法如下：启动溅射过程，在工艺稳定后；实时监测旋转靶体的上、中、下三点的等离子体本征振荡频率，根据等离子体本征振荡频率计算旋转靶体上两端所需的抑制磁场强度ΔB，在旋转靶体上下两端产生一个振幅为ΔB的补偿磁场，形成磁场节点；重复。直接对等离子体状态进行响应，能自动适应功率、气压、气体种类等工艺参数的变化以及靶材消耗的不同阶段；改造成本远低于复杂的电子扫描系统，易于在现有设备上推广。
天眼查资料显示，上海隆宇芯航能源科技有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1063.99万人民币。通过天眼查大数据分析，上海隆宇芯航能源科技有限公司。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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