北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“处理气体监测设备、挥发容器、衬底处理设备和方法”的专利，公开号CN121237678A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本公开涉及处理气体监测设备、挥发容器、衬底处理设备和用于监测处理气体供应到处理室中的方法。处理气体包含可热分解以形成分解产物的化学物质，并且该方法包括测量处理气体中的分解产物的浓度。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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