在半导体行业,有一句话几乎成了标准答案——中国也在搞光刻机,但离真正的产品还很远。这一次,说这句话的人,是ASML高管。
在最新一次财报会议上,ASML首席财务官直言不讳地表示:“我们早就听说中国企业在研发光刻机,但到目前为止,他们还没有拿出任何真正意义上的产品。”这句话迅速被西方媒体引用、放大,也被一些人当成了最终结论。仿佛只要ASML点头,中国才能算开始;只要ASML否定,中国就永远在起跑线上。
但事实,真的如此吗?
先把话说明白一点。ASML高管说的这句话,在字面上并非完全错误:中国,确实还没有对标ASML EUV的成熟商用产品。但问题在于他们刻意忽略了过程,只强调终点。在西方话语体系里,没有EUV = 没有光刻机;没有对标ASML = 等于零。这是一种非常典型的技术霸权逻辑。
ASML高管们心里其实很清楚一件事:真正危险的,不是中国今天有没有EUV,而是中国已经被彻底逼上了“必须自己造”的道路。美国对中国的芯片制裁,不是减速器,而是点火器。过去,中国大量购买ASML设备,用钱换时间;现在,时间被掐断了,只能用命换技术。
结果是什么?进口光刻机的钱,开始转向研发投入;被卡脖子的环节,开始系统性拆解;买设备的逻辑,转向建体系。这恰恰是ASML前CEO温宁克反复警告美国政府的原因:“一旦你不卖给中国,他们就一定会自己做。”
中国光刻机,真的一无所有吗?如果只盯着EUV,答案是“没有”。但如果看整个光刻体系,情况完全不同。
光刻机不是一台机器,而是一个系统工程。光刻机=光源+投影物镜+双工件台+控制系统+软件算法+超高精度制造体系。ASML花了30多年,才把这些拼成一台EUV。而中国做的事情是:把这张被锁死的拼图,一块一块拆开重来。
西方经常嘲讽一句话:中国光刻机卡在90nm很多年了。但真实情况是:上海微电子(SMEE)已形成成熟的i-line、KrF光刻机量产能力,ArF干式、ArF浸没式持续推进,在先进制程之外,封装、功率器件、显示面板、MEMS等已实现大规模国产替代。这不是“实验室玩具”,而是真实进产线的设备。只不过,它们不在最耀眼的EUV舞台中央。
中国在光刻机光源、精密运动平台、控制软件上的进展;国产供应链在局部指标上已达到国际一流水平;一批“去ASML化”的工程师,正在形成完整技术梯队。这些东西,短期看不到终点,但长期一旦贯通,就是不可逆的趋势。
今天的ASML,确实无可替代。全球唯一EUV供应商、最复杂工业系统之一、技术壁垒极高。但请注意一个事实:ASML并不是天生的王者。当年日本、美国,同样认为:光刻机是“我们永远的护城河”,后来者不可能追上。结果呢?ASML,正是当年的“后来者”。
中国光刻机,确实很难,但已经不再是不可能。说一句实话,更容易赢得尊重:EUV,中国现在造不出来;距离ASML,确实还有很长的路。但同样真实的是: 中国已经走上了正确但艰难的路径,光刻机不再是“单点幻想”,而是体系工程,时间,正在从“西方优势”,变成“最大变量”。ASML高管说:“中国还没有一款产品问世。”但历史往往证明真正改变格局的,从来不是第一句话,而是后面那几十年沉默的积累。
你可以轻视中国今天的光刻机,但别低估一个被逼到墙角的产业。西方的傲慢,源自过去的成功;中国的执拗,来自现实的封锁。也许十年内,ASML依然站在顶峰;但有一点已经无法改变:中国,不会再把命门,交到别人手里。而这,才是ASML高管真正焦虑,却不愿明说的地方。
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