光刻机产业链核心公司基本面更新

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（来源：君实财经）

光刻机产业链核心公司基本面更新：

茂莱光学: 国内高精度光学器件龙头，产品覆盖光刻机匀光系统、物镜补偿环等核心部件，技术精度达纳米级，部分产品通过 ASML 认证，与光刻机公司都有合作。光刻机中光学系统（光源之下的扩束、整形、明化、曝光系统、量检测对准对齐系统）的价值量占比80%，制程越高端（如从I线到DUV），曝光物镜的价值占比越高。公司做的是曝光物镜的镜片组，占曝光物镜价值量的一半。在光刻机成套供应曝光镜片组领域，公司是国内唯一商业化量产的公司。DUV光学透镜已进入上海微电子供应链，掌握纳米级非球面镜片技术，其 DUV 物镜系统单机价值量达 5000 万元，同时中标ASML 合作项目。上海微目前i线量产，公司独供，供上海微的DUV镜片目前正在追求全套量产。公司向上海微的i线交付一直在持续，去年交付40套，今年上半年累计交付100来套。EUV项目也有规划。公司转债项目5.625亿全部投向国产DUV光刻机，接下来要解决i线以上的DUV制程，现在国家把DUV产业化提到正式高度，目前处在中试和中试以后的状态，规模和02专项比（光学100亿），主要要突破的是量检测、镀膜、镜片机加工。向高制程去爬最重要的就是测量能力，量检测设备方面国内外客户对公司的镜片需求非常大，下游激烈竞争对上游供货有利，去年开始跟飞测（被制裁后）同时开启很多管线研发，陆续有一些量产管线，量检测主要收入来自海外。

汇成真空：EUV、DUV镀膜设备核心供应商铲子股，客户覆盖新凯来、宇量昇、长光所（30台需求）、上海镭望（30台需求）、北京国望、茂莱光学、波长光电等。高端光学镀膜设备德国莱宝交付周期长达24个月甚至订单取消，国内企业采购困难，加速了对公司设备的需求。在原有EUV溅射镀膜、DUV蒸发镀膜、修复镀膜，以及离子束镀膜设备的基础上，公司近期正积极开发离子束抛光设备。设备单价1000-2000万。已交付2台EUV镀膜设备、1台DUV镀膜设备，在售中3台DUV（宇量昇、长光所、上海雷旺）和1台EUV。宇量昇DUV蒸发镀膜设备11月份已发货，验证完成即可拿到批量订单，长光所的首台DUV设备预计将在Q4确收，批量下单在即，新凯来近期给公司下了两台新的品类设备，表面材料退火以及SIC 光学层镀膜。公司松山湖新基地新增30台镀膜设备年产能（20台D+10台E），公司资本开支投入进一步强化拿单确定性。此前调整受制于主业订单确收节奏问题影响，业绩预计明年Q1将得到显著改善。EUV要从透镜升级到反射镜，镀膜需求倍数增加。

波长光电: 作为国产光刻机产业链中的核心光学元件供应商，客户覆盖三大国产光刻机厂商的光学元件供应商，下半年在 DUV 光刻机核心部件量产、EUV 相关技术储备等方面成果显著。董事长三季报交流会表示重点聚焦开发DUV与EUV，新设备11月到位产能扩充一倍。茂莱光学目前聚焦物镜，照明、光源及其他双工台量测中的镜片会有产能溢出，由波长承接，年中开始波长承接低端i线光刻机茂莱外溢的照明系统订单，在更高端的DUV领域，公司在宇量昇取得突破性实质进展，参与光源及照明系统打样，量产后除物镜外单机价值量近千万，若算物镜，单机价值量千万以上；EUV领域，公司布局二氧化碳激光器等业务，公司反馈客户1-4月交付已达去年全年水平，目前对该客户指引增长150%以上。公司积累多年基底反射膜镜片的专利和技术经验，公司在二氧化碳激光器领域已交付多个样品镜片，EUV光源是当前客户核心瓶颈。目前公司超精密的抛光技术和多层膜技术得到了大客户的认可，以ASML来看，其极高端光学设备的光源内光路需要10-15片的多层膜反射镜，单镜片单机价值量200万美金，单机价值量2000-3000万美金，且因为镜片靠近光源其价值量超过外光路镜片。EUV镜片组装用的干涉仪是浙大的，波长和浙大签了战略合作协议，成立了联合实验室