四川
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成都松盛测控技术有限公司生产的氮气加热装置SSGM-1J，是能够精准稳定的控制氮气的气体流量200升每分钟（可调），并且持续恒定的给氮气提供加热200℃（可调）的一款新型装置。在半导体晶圆制造中使用的氮气加热装置是一种关键设备，主要用于晶圆清洗、干燥、固化等工艺环节。其核心功能是通过加热高纯度氮气，为晶圆处理提供惰性、无氧的加热环境，防止氧化和污染。
本公司的氮气加热装置与市面上常规的加热装置有所区别，本产品为现代氮气加热装置，配备高精度温控系统和氮气流量控制闭环管理系统，可实时监测并调节加热温度、氮气流量以及浓度（如稳定维持90%±2%），确保工艺参数稳定。精准的氮气控制设备还能通过智能气路设计降低氮气损耗。
氮气加热装置SSGM-1J这类装置已成为半导体制造中不可或缺的智能化基础设施，其技术演进正推动行业向更高效率、更低成本的方向发展。
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