前言
2024年一季度,ASML财报上出现让管理层坐立难安的数字:对华销售额占比从49%跌至27%。
两任CEO连续警告:封锁只会加速中国自主创新。
事实确实如此,中国造不成光刻机,但那就先造一个光刻工厂!
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光刻巨头黄昏
2024年1月,荷兰光刻机巨头ASML的财报显示了一个让投资者震惊的数据:中国市场占比从连续三季度的46%、47%、47%突然跌至27%。
这个数字像一面镜子,照出了这家全球光刻设备霸主的尴尬处境:一边是美国持续施压下的出口管制枷锁,一边是中国市场这块不得不抓的"摇钱树"。
新任CEO克里斯托夫·富凯上任后在《华尔街日报》采访中直言不讳:"施加的限制越多,就越会促使对方自力更生。"
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这句话与其前任彼得·温宁克的警告如出一辙。2023年初温宁克就在财报会上敲过警钟:"出口管制会促使中国成功开发出自己的技术。"
ASML的焦虑不是没有道理。回溯到2023年,当出口封锁的风声刚透出来时,中国客户立刻启动"战略性囤货",短期内让ASML的订单量激增,但明眼人都看得出来,这不过是提前透支未来市场。
更让ASML揪心的是其在中国的维护业务,数千台已部署设备的定期保养和零部件更换,早已成为公司稳定的现金流来源。一旦连这些服务都被政治力量限制,ASML与中国市场最后的纽带也将断裂。
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温宁克在2023年9月的行业论坛上说得很实在:"中国有足够的人才,也有足够资源找到替代方案。"
当时不少西方媒体还将其视为商业游说,直到清华大学的SSMB-EUV方案逐渐浮出水面,人们才意识到这位老CEO的预判有多精准。
2025年,ASML预计中国业务降到20%左右,但实际需求比预想强,第三季度中国占了42%。公司否认这是囤货引起的,说是政策和宏观需求的作用。
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这种对比让ASML股价在2024年10月的一天直接大跌8.33%,270亿美元市值凭空蒸发。
富凯后来讲,中国落后先进技术10-15年,但成熟节点需求稳得一批,短期内ASML还得靠中国吃饭。
管制越严,中国客户囤货越猛,ASML表面风光,内部其实捏把汗,怕哪天连备件和服务都卡死,那才是真断粮。
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封锁反作用
2021年2月,清华大学唐传祥教授团队在《自然》期刊发表了一篇论文,题目是"稳态微聚束原理的实验演示",这项成果为EUV光刻提供了全新可能。
杂志评论称其"结合了同步辐射光源与自由电子激光的双重特性",这个看似高深的学术成果,背后有着深刻的现实背景。
传统EUV光刻机之所以被称为"人类工业皇冠上的明珠",核心卡在极端小型化的光源系统上。ASML用了几十年时间,整合了全球供应链的顶尖技术才实现商业化,其光源系统涉及数万零部件的精密集成,专利壁垒密不透风。
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中国要走同样的路,无异于从零开始跟跑几十年,这显然不现实。但中国人的智慧恰恰在于不按常理出牌——既然造不出"光刻机",那就直接建"光刻工厂"。
清华大学牵头的SSMB-EUV方案,正是这条独特路径的核心。这个2017年就启动的项目,背后有着国际合作的基因。当年7月,清华教授唐传祥与斯坦福大学赵午组织首届SSMB合作会议,联合中、德、美等国科研人员攻关。
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由于实验对电子束控制精度要求极高,团队先后8次前往柏林,利用德国PTB的MLS储存环开展研究。2019年8月,实验取得关键突破:用1064纳米激光操控电子束,让其在48米周长的储存环内绕圈后形成精微的微聚束结构。
真正让业界震动的是2022年的进展——SSMB-EUV光源输出功率突破1千瓦,光学腔稳定锁定时间超过4小时。这两个关键指标意味着"光刻工厂"从概念走向现实有了基础技术支撑。
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这种"重资产、高产能"的模式,恰恰契合了中国在特高压、高铁等领域证明过的系统集成能力。就像当年建设高铁网络时那样,中国不追求每个零部件都从零研发,而是在关键环节集中突破,再通过系统集成形成整体优势。
唐传祥教授在接受采访时谨慎表示:"EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,但SSMB光源为突破核心瓶颈提供了全新思路。"
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这种谨慎背后是清醒的认知——光刻工厂确实面临挑战,巨额的初始投资、漫长的建设周期、对运营模式的严格要求,都考验着中国的产业耐力。
但这些挑战在国家战略需求面前,反而成了发挥制度优势的舞台。国家层面,今年2月11日,中国投370亿欧元,支持本土极紫外光刻系统开发。
系统计划2025年第三季度试生产,2026年批量制造。华为在东莞测试部件,结合自研芯片推进。
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模式超越
与ASML的EUV光刻机不同,SSMB方案不是把复杂系统压缩到一台机器里,而是通过大型加速器设施产生稳定的极紫外光,用规模化、集中化的思路解决光源难题。
今年7月,清华大学在极紫外光刻胶材料聚碲酮上取得新突破,补上了产业链中的又一块短板。这一进展让整个方案的商业化前景更加明朗。
整个思路就是把最难的光源部分集中解决,下游曝光站简单多了,成本降一大截,还适合中国搞大基地的那套工程化打法。
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从成本对比看,ASML一台EUV光刻机要1.2亿美元,维护一次就得几百万。而光刻工厂是"流水线作业",把曝光、显影等步骤整合在一起,连续生产,绍兴的配套项目投产后,批量生产能大幅降低成本,适合大规模制造。
更重要的是,ASML的光源功率已经快到极限了,再提升难度极大。而SSMB技术的光源,波长能覆盖到极紫外波段,光强还能提升,未来造更先进的芯片也有空间。
这就好比传统光刻机是"手动挡",光刻工厂是"自动挡",越往后优势越明显。我们的光刻工厂,核心技术是自己的,配套设备也在国产化。
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产业链正在协同推进,比如光刻胶,以前高端产品全靠进口,现在湖北有家公司的ArF/KrF光刻胶已经通过评估,拿到了晶圆厂订单,实现了全流程国产化。
恒坤新材更厉害,募资15亿建生产基地,它的KrF光刻胶已经批量供应12英寸产线,能覆盖7nm工艺,2025年底产能就能到500吨/年。
设备方面,上海微电子的600系列光刻机,已经实现90nm工艺批量生产,打破了国外限制。2024年9月,他们还公布了极紫外光刻设备的发明专利,说明在EUV技术上也没掉队。
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芯片制造端,中芯国际2025年3月17日官宣,FinFET第一代技术已经量产。这些突破和光刻工厂相互配合,形成了完整的产业闭环。
整个产业链2000多家企业抱团,成本能压到ASML六成左右。国家层面把这当重大基础设施推,选址雄安之类的地方,目标就是千瓦级装置。
格局重塑
ASML新任CEO富凯现在面临着比温宁克更棘手的局面。美国不仅要求限制设备出口,还试图干预在华设备的维修服务。富凯无奈地指出:"如果我们不在那里,我们就会失去控制。"
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这种失控感正在变成现实——当中国客户不再依赖ASML的设备和服务,当光刻工厂开始稳定输出极紫外光,全球半导体产业的格局将被重新定义。
ASML的焦虑本质上是所有依赖中国市场的西方高科技企业的缩影:政治力量强行切断商业纽带,最终只会倒逼被封锁者走出一条更具韧性的道路。
从温宁克2023年的警告到富凯2024年的焦虑,ASML的态度转变折射出一个简单的事实:在高科技领域,封锁从来不是长久之计。
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中国没有选择复制ASML的技术路线,而是用自己擅长的系统工程思维另辟蹊径。光刻工厂的建设过程或许充满挑战,但它承载的不仅是打破技术封锁的希望,更是一种产业发展模式的创新。
当ASML还在政治与市场之间艰难平衡时,中国的科研团队已经在雄安的土地上埋下了突破的种子。这场较量的结局或许还需要时间验证,但有一点已经清晰——试图用限制来遏制创新,最终只会加速被超越的进程。
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10月15日,ASML报告净销售75亿欧元,全年预计增长15%,靠先进芯片和AI投资顶着,但中国部分会显著下滑,到2026年更明显。
富凯2025年讲,中国需求比预期强,但2026年肯定大降,因为客户把能买的都买完了,再加上管制越收越紧。
短期ASML还赚服务钱,长期呢,中国这条集中式工厂一旦跑通,先进芯片生产就从"买机器"变成"建电站",规则全变了。
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ASML垄断单机模式的日子,怕是要到头了。说白了,封锁把路堵死,反而逼出新路子。
中国不硬抄ASML老路,玩系统工程这一套,接地气又狠。2025年这些样机、测试、参数图一出来,ASML股价波动得厉害,高层讲话也越来越谨慎。
巨头慌不慌?数据摆在那,中国市场占比从36%掉到20%,服务还能撑多久,谁也不知道。反正半导体这盘棋,现在越来越有意思了。
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结语
从单机追赶到工厂超越,中国的成功证明了模式创新的力量。
未来全球科技竞争将呈现多元化格局,开放合作优于封闭对抗。
在你看来,还有哪些领域可以通过模式创新实现跨越式发展?
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