国家知识产权局信息显示,迈康尼股份公司申请一项名为“图案生成器和用于驱动图案生成器的方法”的专利,公开号CN121079636A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,图案生成器(1)包括脉冲激光光源、空间光调制器、控制模块、光学终端系统(50)和台定位设备。光学终端系统被布置成用于将来自空间光调制器的激光照射图案(13)定位在写入平面(43)上。该光学终端系统还包括条带开关(70),其经配置以在垂直于该平台定位设备的扫描方向(62)的扫掠方向(61)上光学地移动该激光照射图案在该写入平面上的位置。控制模块还被布置用于在扫掠方向上的至少两个预定位置处生成激光照射图案。在扫掠方向上的位置之间的距离小于或等于写入平面上的激光照射图案在扫掠方向上的宽度。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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