北京
分享至
国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于反应器系统的激光器对准夹具”的专利，公开号CN 121046801 A，申请日期为2021年5月。专利摘要显示，一种用于反应器系统的激光器对准夹具，可以用于对准反应器系统的部件以允许将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具可以包括：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具可以对准至少：流动控制环、基座，以及反应器系统的侧壁。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
