北京
国家知识产权局信息显示，大连皓宇电子科技有限公司取得一项名为“一种可调平的晶圆升降机构及晶圆载台”的专利，授权公告号CN223612404U，申请日期为2024年9月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种可调平的晶圆升降机构，包括：腔体连接板、第一调整板、第二调整板、调平机构和升降机构；所述第一调整板沿Y向滑动设置于腔体连接板上，所述第二调整板沿X向滑动设置于第一调整板上；所述升降机构能够驱动晶圆载台沿Z向位移，所述升降机构通过调平机构安装在第二调整板上，所述调平机构能够调整所述升降机构的行程方向与第二调整板所在平面之间的夹角。本实用新型还公开了一种晶圆载台，包括前述的一种可调平的晶圆升降机构。以提供一种既能够用于实现晶圆载台在XYZ三个方向上的位移调整，又能够满足晶圆载台水平度调整的晶圆升降机构及晶圆载台。
天眼查资料显示，大连皓宇电子科技有限公司，成立于2020年，位于大连市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，大连皓宇电子科技有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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