北京
国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种可实现CVD工艺与ALD工艺的沉积系统”的专利，授权公告号CN223592822U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型提供了一种可实现CVD工艺与ALD工艺的沉积系统，涉及半导体加工设备技术领域。包括适于存放粉体的耐高温锥形工艺罐，还包括连接在所述锥形工艺罐上方的真空系统，以及连接在所述锥形工艺罐锥底的气源系统；所述气源系统包括连接至所述锥形工艺罐内工艺气体气路、前驱体气路以及载气气路；所述气源系统内设置有若干阀门以用于切换控制与锥形工艺罐连通的气路，所述锥形工艺罐内设置有适于使粉料从锥底向上提升搅拌的螺旋形搅拌机构；在所述粉体上沉积硅后，通过控制气源系统的阀门以选择继续进行CVD工艺或者ALD工艺。通过本方案以实现CVD工艺与ALD工艺的结合，提供了更加丰富的包覆方案。
天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本564.953828万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目97次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息100条，此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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