北京
国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种沉积工艺罐体的安全模块”的专利，授权公告号CN 223592821 U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型提供了一种沉积工艺罐体的安全模块，涉及半导体设备技术领域。其适于设置在工艺罐体上，所述工艺罐体的进料管路与出料管路上分别设置有进料阀与出料阀，包括惰性气源以及与所述惰性气源连接的第一保护气路与第二保护气路，所述第一保护气路连接至所述进料阀的上游端所述第二保护气路连接至所述出料阀的下游端；所述惰性气源适于向所述进料阀的上游端与出料阀的下游端输送惰性气体以使所述进料阀的上游端与出料阀的下游端的压力大于大气压力，以确保从所述进料阀和出料阀泄漏进工艺罐体的气体为惰性气体，进而防止空气漏进所述工艺罐体。通过本方案可以有效防止进料口和出料口的漏进空气的问题。
天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本564.953828万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目97次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息100条，此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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