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千亿光刻赛道,张江跑出“唯一独苗”!

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1984年,飞利浦内部的Natlab实验室被高层放弃。因为不看好其昂贵的技术研发方向,这个攻坚光刻技术的团队,被安置在垃圾站旁的简易工棚里,环境嘈杂,臭气熏天。

谁也没想到,从垃圾站出发的ASML,会成为鼎鼎有名的光刻巨头,最终改写了全球半导体产业的格局。


历史的轨迹,正悄然重现。

41年后,太平洋彼岸的上海,一群中国年轻人选择向同一座技术高峰——EUV光源发起冲击。他们的起点,是砸墙搭建的家庭实验室,是弥漫着机油的郊区汽车厂房。

这群年轻人,正是朗道燧岩(上海)科技有限公司(以下简称“朗道科技”)的初创团队。

成立仅一年余,这家初创公司便斩获张江高科895创业营“创业之星”,完成天使轮战略融资,累计融资数千万元,并且成为了国内百亿EUV光源赛道中备受瞩目的独苗选手。

从重庆民居到南京郊区的汽车厂房,再到上海张江的核心园区,这家年轻的公司为何能在巨头垄断的尖端领域破土而出,被市场寄予厚望?

近日,张通社独家对话朗道科技创始人王豪博士,探寻这个年轻团队敢想敢做,破局EUV光源垄断背后的故事。

01

放弃铁饭碗

清华校友集体创业

朗道科技的故事,是一群世俗意义上的好学生集体“越轨”的结果。

创业之前,王豪走的是一条规整且平顺的学术之路。

2015年,他从重庆大学考入清华大学电机系,开启硕博连读。其专业是当时颇为冷门的气体放电等离子,所在的清华大学等离子体实验室是国内该领域的重要研究阵地。课题组的两大方向,一是近年大热的核聚变,另一便是半导体光刻光源。

博士毕业后,他回到母校重庆大学任教。然而,三年的执教生涯让他逐渐意识到学术与产业之间的鸿沟。“学了这么多专业知识,怎样才能真正用于产业?”这颗产业化的种子,在他心中悄然埋下。

不久,一个推动他走向产业的机会降临了。

在重庆大学教学期间,王豪创办了清华校友跑团。其中一位跑友,正是国内一家重要半导体设备制造商的供应链负责人。2023年2月,王豪前往北京参观其公司。

他近乎震撼地发现:中国半导体产业链虽全,但在最核心的光刻机,尤其是EUV(极紫外)光源上,几乎是一片空白。

需要强调的是,光刻机是芯片制造的核心装备,而EUV(极紫外)光源则决定了光刻机的精细度,其重要性不言而喻。当时,全球仅有ASML能制造EUV光刻机,并对中国实施严格禁运。这一残酷事实,刺痛了王豪。他意识到,正如“用粗炭笔画不出精妙的细节”,要突破芯片制造的工艺极限,就必须攻克最精细的极紫外光源。

从北京回来后,王豪与同为清华校友的妻子刘家慧进行了一场严肃的对话。当他提出想创业攻克EUV光源时,妻子的第一反应是:“你疯了?”但王豪没有放弃,他用了大量调研数据和分析,向妻子解释这项技术的战略意义与现实可行性。最终,刘家慧从质疑转向认同,决定与他并肩同行。

事实上,投身EUV光源创业,并非一场“无根之水”的豪赌。

在全力投入之前,王豪花了近半年时间进行扎实的行业调研。他查阅全球专利,研读专业文献,几乎翻遍了ASML二十多年来数千篇EUV会议报告,将国际巨头的成长史摸了个底朝天。他发现,国外巨头有几十年、数千专家、数百专利的深厚积累,而国内的相关研究却非常有限。正是这种清醒的认知,让他更加坚定必须从最基础做起。

调研完成,夫妻二人组成了最初的清华创业小队。没有场地,他们砸通了家里的非承重墙,清空房间,搭建起最原始的实验室。没有设备,他们抵押房产,拿出全部积蓄,全网搜寻二手甚至报废的激光器、真空仪器,自己动手维修、调试。

随后,他们又说服了另外两位清华校友加入——擅长品牌与运营的李雅竹,和拥有强大调研与供应链对接能力的杨坤韵。

清华校友创业小队就此成形。为了让成员们快速建立对EUV核心技术的认知,王豪带领大家翻译了上千页的英文技术原著,进行了高强度的集中学习。

最终,第一台低功率的原型机,就在那个由客厅改造的简陋实验室里诞生了。

02

招募顶尖人才

构筑“技术-商业”闭环

家庭实验室的初步成功,证明了技术的可行性,但只是故事的起点。

2024年初,一位建筑业老板被团队打动,将南京溧水区一个闲置的汽车零部件厂房,以近乎免费的价格提供给他们。清华小队正式开辟了新的空间。

“旁边就是养鸡场,吃大排档就算是团建,”王豪回忆,“但这里成了我们的研发圣地,四个创始人加上最早的员工,每天从早上7点干到深夜12点。”

也是在这里,2024年8月,朗道科技正式注册成立。


朗道科技的第一版图像logo

质疑声来得断断续续。“很多人觉得我疯了。”有行业前辈直言不讳,认为中国缺乏高端制程的血统,劝他“死了这条心,老实找个班上”。但也有人鼓励他们:“在中国,总有人想做伟大的事。你只需要找到正确的人。”

朗道科技的人才招揽结果也印证了这句话。搬到南京后,他们开始不间断地寻找有理想有才能的同伴。为此,朗道科技精心设计了专业、国际化的官网与招聘系统,由创始团队亲自奔赴清华、北大、复旦等高校宣讲招揽英才……

他们用“捍卫人类智慧荣光”的愿景和扎实的技术底蕴,吸引了一位又一位鲜活的同行者。

于是,我们看到了朗道科技如今的团队——四位清华联合创始人,以及十几位来自清华、北大、南大、南加州大学、新加坡国立、帝国理工、圣彼得堡彼得大帝理工大学等知名学府的优秀人才。

顶尖人才全身心投入的成效逐步显现。目前,朗道科技已形成从基础研究到最终产品的完整闭环,王豪称其为“三菜一汤”。

在软件与仿真层面,公司自研的“等离子体工业仿真软件”,已成为其核心研发利器。该系统既能降低企业硬件研发成本,同时支持高效对技术版本进行更新换代。还能为其他半导体设备公司提供仿真软件服务。在最艰难的时刻,团队正是靠着仿真计算几十万的订单,度过了漫长的硬件研发周期。

在硬件产品方面,朗道科技已成功推出低功率EUV光源系统。该系统成功实现低功率光源稳定输出,且转化效率国内领先。此外,该光源可为EUV光刻胶研发、光学系统及掩膜检测等企业,提供低成本、便捷的极紫外光测试工具,助力产业链上下游的协同研发。


低功率LPP-EUV整机工程化效果图

为填补EUV光源供应链的核心硬件空白,公司已完成高功率C02(二氧化碳)激光器的基础研发。这是EUV光源的“发动机”,不仅可用于驱动产生EUV,也可用于航空和汽车领域板材切割与焊接。朗道科技已经与国内龙头汽车品牌进入商业化订单探讨交流阶段。

而朗道科技的终极目标,始终是研发出可应用于先进光刻的高功率LPP-EUV光源系统。王豪为此制定了清晰的“三步走”计划:第一步,尽快完成转化效率超过5%的低功率验证;第二步,用三年时间实现瞬时百瓦级别光源系统;第三步,协同供应链成长,计划两年更新出稳定的工程样机。

03

累计达数千万融资

建立中国的EUV生态

历史上,固步自封、不愿向前一步的公司,在后来大多落于人后。

昔日芯片巨头英特尔因固守DUV技术而在先进制程竞赛中掉队,而当时仅出动小团队的ASML,却因押注EUV赢得了未来。

在创办朗道科技的过程中,王豪深刻地意识到,中国必须向前一步,建立自己的EUV生态。“没有EUV光源,光刻技术就无法前进。即使能设计出最精密的芯片,也无法被制造出来,中国半导体将永远受制于人。”

幸而,这条产业链上越来越多的同伴参与进来。

2025年初,朗道科技参加张江高科895创业营公开路演。作为最后一位出场者,王豪掷地有声地说道:“这或许是本次路演的尾声,但我希望它是中国EUV事业的开始。”这句话瞬间点燃了现场。最终,朗道科技凭借其扎实的技术和产业愿景,一举夺魁。

这份冠军奖励,不仅为朗道科技带来了近500平方米的免费研发空间,更是一个至关重要的契机——朗道科技借此收获了数千万元天使轮融资。

今年10月,朗道科技在浦东新区张江高科·矽岸国际举行开业典礼,正式入驻上海集成电路设计产业园,建立了超过千平的研发实验室。现场,一束高功率激光隔空点燃木板,“魔法”在这片热土上演。

张江高科党委书记、董事长刘樱在开业典礼上表示,朗道科技的入驻是张江科学城构建“热带雨林式”创新生态的生动实践。她回忆起第一次与朗道科技团队在南京研发旧址会面的情景,坦言这个年轻的团队给了她极大的震撼,“我觉得他们是真正心中有梦,眼里有光的一群年轻人。”

这是一个生态正在形成的缩影。王豪深知,未来的关键挑战在于“供应链建设”与“认知鸿沟的消除”。他必须成为中间人,将EUV的宏大叙事,拆解成一个个具体的核心零部件需求,助力产业链企业合力攻坚。

这条道路虽然艰难,但前景广阔。根据Technavio与Infiniti Research联合发布的报告,全球EUV光刻市场正处在高速增长期,预计2023-2028年的复合年增长率将达18.9%,市场规模将从约103亿美元攀升至近246亿美元,增量空间巨大。这不仅印证了朗道科技所选赛道的前瞻性,也意味着其每一步技术突破,都可能在中国乃至全球市场激起巨大回响。

历史的轨迹,总是惊人得相似。或许未来,朗道科技在南京汽车厂的岁月,也会成为后人传颂的起点。

而随着一批批不甘落后的中国半导体人持续涌现,那个不再受制于人的明天,正渐行渐近。

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