广东
航鑫光电 FILMTHICK - C10 膜厚检测仪：半导体及多领域薄膜测量的技术先锋
技术原理与测量方式
光学薄膜测量设备的光谱测量方式主要有椭圆偏振和垂直反射两种
椭圆偏振测量方式
光源发出的光经起偏器和光学聚焦系统，以特定角度入射圆片，经表面膜层和硅衬底反射后，由光谱仪接收。通过对膜厚和薄膜光学常数等变量进行回归迭代逼近，使计算光谱与实测光谱吻合，最终迭代值即为所测薄膜的厚度和光学常数。
特点：
高精度测量薄膜厚度和光学常数
适用于各类薄膜测量
在测量复杂多层膜和超薄薄膜时优势明显
提供更精确的光学常数信息
仅能得到圆片表面的垂直反射光谱，不包含偏振光的位相变化信息，需与事先在标准裸圆片上测得的反射光谱对比，才能得到样品的垂直反射率。
性能参数：
灵敏度低于椭圆偏振式测量
主要用于较厚薄膜和单层膜的厚度测量
测量速度较快
操作相对简单
用于测量薄膜方块电阻率
通过反推公式计算薄膜厚度
满足多样化测量需求
核心技术参数与优势光学系统
采用进口卤钨灯光源
使用寿命超10000小时
非接触式无损测量
可测反射率/颜色/膜厚等参数
配备OPTICAFILMTEST专业软件
集成FFT傅里叶法/极值法/拟合法
开放型材料数据库
实时显示干涉/FFT波谱/膜厚趋势
行业应用场景半导体芯片制造
提升芯片性能和良率
严格把控薄膜厚度
提高芯片稳定性和可靠性
优化显示效果
减少色差和闪烁现象
提升光学性能/清晰度/色彩还原度
确保镀膜质量
提高光学元件性能
生物薄膜厚度测量
支持医疗设备制造技术
#膜厚检测仪 #测厚计 #薄膜测厚仪 #膜厚仪 #膜厚计
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
