半导体这块儿事儿,现在全球都闹得挺凶的,尤其是光刻机这种核心玩意儿。荷兰的ASML公司基本上垄断了高端市场,中国芯片厂得靠这些设备才能维持生产线。2022年,美国开始搞出口管制,目的是卡住先进技术往中国流。荷兰那边也跟着动静,2023年上半年就准备限制某些深紫外光刻机的出口。那些规定从2023年9月开始正式落地,主要针对浸没式DUV系统。
中国企业一看苗头不对,从2023年头几个月就启动大采购,囤货以防以后买不着。中芯国际和华为这些大厂加大订单,储备起来应对管制。
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中国企业大规模采购
中国企业敏锐地察觉到市场风向变化,从 2023 年头几个月就启动了光刻机的大采购计划,通过囤货的方式以防后续政策收紧导致买不着设备。
中芯国际作为中国规模最大、技术最先进的集成电路制造企业,率先加大了对 ASML 光刻机的订单量,不仅采购了多台用于成熟制程的 DUV 光刻机,还针对未来可能的技术需求,提前锁定了部分符合当时出口标准的设备。
华为旗下负责芯片制造相关业务的实体,也联合产业链伙伴共同下单,储备足够的设备以保障自身供应链的稳定。
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除了头部企业,国内众多专注于特色工艺的芯片制造厂商,如华虹半导体、长江存储等,也纷纷加入采购行列,这些企业主要生产汽车芯片、功率半导体、存储芯片等,对 DUV 光刻机的需求旺盛,且当时荷兰尚未完全限制该类设备出口,为采购创造了窗口期。
据 ASML 公司后续披露的销售数据显示,2023 年全年,该公司向中国市场售出的光刻机数量达到 257 台,涵盖了从干法 DUV 到浸没式 DUV 的多个型号,交易总金额折合人民币约 7500 亿元,这一数字不仅创下 ASML 对中国市场的年度销售纪录,也让中国成为其 2023 年全球最大的单一市场。
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ASML 的市场反应
ASML 凭借对中国市场的大规模出货,2023 年业绩实现显著增长,公司财报显示,当年营收同比增长 34%,净利润同比增长 42%,中国市场贡献的营收占比从 2022 年的 15% 提升至 2023 年的 28%,成为推动公司业绩增长的核心动力。
ASML 首席执行官在财报电话会议中表示,中国市场的需求具有很强的持续性,公司在遵守荷兰政府出口规定的前提下,会继续为中国客户提供符合要求的设备及售后服务,同时强调全球半导体供应链的稳定需要各国企业的共同维护,过度的技术限制不利于行业发展。
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与此形成对比的是,部分外媒对 ASML 向中国大量出售光刻机的行为表达了担忧,甚至用 “恐‘灭顶之灾’” 来形容这一情况。
《华尔街日报》在相关报道中称,大量 DUV 光刻机流入中国,可能帮助中国企业进一步提升芯片制造技术,缩短与国际先进水平的差距,长期来看会削弱欧美国家在半导体领域的技术垄断地位
《日经亚洲评论》则指出,中国企业通过采购设备积累了更多的操作经验与技术数据,可能为后续自主研发光刻机奠定基础,一旦中国实现光刻机的自主可控,全球半导体设备市场的格局将发生重大变化,欧美设备厂商将面临激烈竞争。
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后续影响
随着 257 台光刻机陆续交付并投入使用,中国芯片制造产能得到显著提升。中芯国际利用新采购的浸没式 DUV 光刻机,进一步优化了 14 纳米制程的生产工艺,良率从之前的 85% 提升至 92%,同时开始尝试通过 N+1 工艺实现 7 纳米芯片的生产。
长江存储则借助新设备,扩大了 3D NAND 闪存芯片的产能,月产量从 2023 年初的 10 万片晶圆提升至年底的 18 万片晶圆,有效缓解了国内存储芯片依赖进口的局面。
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在提升产能的同时,中国芯片企业也没有停止技术探索的步伐。多家企业联合国内科研机构,针对光刻机的核心部件开展研发,如光学镜头、精密导轨、激光光源等。
虽然目前尚未实现完全自主替代,但在部分关键技术领域已取得突破,如上海微电子装备集团研发的 28 纳米制程 DUV 光刻机,已完成样机测试并进入小批量生产阶段,为后续进一步突破先进制程设备奠定了基础。
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结语
荷兰向中国售出 257 台光刻机这一事件,不仅是一次大规模的商业交易,更折射出全球半导体产业链相互依存的现实。
在全球半导体产业深度融合的背景下,技术的流动与合作本应是推动行业发展的动力,而过度的技术限制与贸易壁垒,只会破坏产业链的稳定,阻碍全球科技进步。
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中国通过合理的设备采购,既满足了自身芯片制造的需求,也为全球半导体市场注入了活力,同时中国企业在提升产能的过程中,不断加大技术研发投入,展现出推动半导体产业自主发展的决心。
未来,只有坚持开放合作、互利共赢的原则,打破技术垄断与壁垒,才能实现全球半导体产业的健康可持续发展,为人类科技进步贡献更多力量。
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