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美荷两国同时发声,针对中国获取先进光刻技术,打开全球半导体主导权争夺战

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前言

2024年,荷兰政府突然宣布要扩大光刻机出口许可限制,与此同时,美国商务部也更新了出口管理条例,该条例很显然就是在针对中国获取先进光刻技术。

而这场表面上的技术纠纷,背后却是实打实的全球半导体主导权争夺战,简单来说就是,中国动了别人的蛋糕了。

打压的逻辑清晰可见,你可以搞发展,但不能靠近核心,只可惜,中国这次没按剧本走,而是自己写了一本新剧本,还拍了出来。

中国将会如何应对美荷两国?


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管得住机器,管不住技术

最近,当来自美国与荷兰的声音几乎同时响起,矛头直指中国独立研发的光刻机技术时,一场超越传统地缘政治的较量,已经清晰地展现在世人面前。

这场冲突的核心,不再是模糊的口号,而是被精确量化的一串串冰冷数字,193纳米的光源波长、1.35的镜头数值孔径,还有那决定成败的1.5纳米套刻精度


每一个参数,都像是一枚棋子,背后牵动着国家战略的宏大布局、技术路线的艰难抉择以及整个产业链的重构。

这不仅仅是技术的竞赛,更是一场围绕“参数”展开的、定义未来信息技术基础的全面博弈,这场博弈的激烈程度,正从三个维度深刻地改变着全球科技的版图


很多人可能觉得,科技封锁就是简单地不卖给你某台机器,但现实远比这复杂,美国与荷兰联手发起的这场行动,堪称一次“参数化”的精准打击

他们的目标并非笼统的“光刻机”,而是通过严苛的技术规格,将特定的高端设备牢牢锁在管制清单里


技术不是搬来的,是一步步走出来的

一切的开端,便是将包含浸没式系统和能达到特定分辨率的深紫外(DUV)光刻机,定义为“先进半导体设备”

这个界定本身就是一场参数的游戏,2023年3月,荷兰贸易部长首次正式宣告了这一新规,详细的规则在6月30日出台,并从9月1日起雷厉风行地开始执行,这还没完,到了2024年9月6日,他们又将更多的设备型号和服务拽进了管制圈


华盛顿方面则步步紧逼,为荷兰的行动提供全球策应,早在2023年3月,美国商务部官员就在国会听证会上,公开表示了对荷兰举措的支持同年10月,美国的管制大棒挥得更远,直接将软件升级和设备维护服务也囊括进来

这一招可谓釜底抽薪,意图锁死中国手中现有设备的技术潜力,让它们永远停留在某个参数水平上,官方的说辞永远是那么冠冕堂皇,“维护技术安全”、“防止敏感技术流向竞争对手”


但拨开迷雾,其背后真正担忧的,是中国在关键技术参数上令人不安的追赶速度,为了让管制显得合情合理,一场围绕参数的舆论战也同步打响。

美国智库的报告和媒体的密集报道,反复强调着性能参数的巨大鸿沟,他们总爱拿ASML产品控制在1纳米以内的套刻精度,来对比中国设备那大约1.5纳米的水平,以此放大差距


同时,字里行间还不忘含沙射影,质疑中国技术来源的独立性,暗示可能存在逆向工程或是知识产权的灰色地带,面对这种基于参数的“手术刀式”遏制,中国的回应也相当直接。

外交部多次公开谴责这种行为严重干扰了正常的国际贸易,是赤裸裸的科技脱钩,而在实际行动上,中国则通过公布国产设备的性能指标,作为最有力的回击


明确宣布国产设备已能支持65纳米分辨率,采用193纳米波长的激光源,这本身就是一种宣告,你们用参数来封锁,我们就用实现的参数来反制。

这场冲突的背后,实际上是两种截然不同的技术发展哲学的激烈碰撞。


一边是荷兰ASML所引领的,不惜一切代价追求物理极限的“参数竞赛”,另一边,则是在巨大外部压力下,中国不得不选择的,聚焦于供应链安全的“参数实用主义”

ASML的战略非常清晰,就是牢牢占据技术金字塔的顶端,他们的核心武器是极紫外(EUV)光刻技术,目标直指5纳米乃至更先进的工艺节点通过在最顶尖的参数上形成绝对垄断,来确保其在全球市场的霸主地位


而中国面对的现实是,通往金字塔顶端的路,被人为地设置了重重路障。

技术也不只一套标准

在这样的情况下,与其好高骛远地去冲击最前沿,不如先退一步,集中所有资源攻克技术相对成熟、但市场需求同样巨大的DUV技术,优先确保28纳米这类中端芯片的制造能力,解决“从无到有”的燃眉之急,成了一个极为现实的战略抉择


上海微电子装备集团(SMEE)在2023年初推出的SSA600系列深紫外光刻机,就是这一路线的典型产物

它的数值孔径达到1.35,每小时能处理超过一百片晶圆,这些参数虽然不是全球最顶尖的,但对于支撑国内大量的逻辑芯片和存储器生产来说,已经足够了,这解决了“够用”的问题,更重要的是,中国在参数追赶上展现出的迭代速度。


分辨率在短短几年内,就从2019年的90纳米提升至2024年的65纳米,设备的可靠性也在稳步提升,无故障运行时间正从3000小时向5000小时的门槛迈进

这种“小步快跑”的实用策略,虽然看起来不够惊艳,却异常稳健。


当然,中国也没有把所有鸡蛋放在一个篮子里,在主攻DUV的同时,科研力量也在积极布局纳米压印、电子束等非主流光刻技术

这反映出一种清醒的底线思维,在主流路线上遭遇参数壁垒时,必须要有备用的“旁门左道”能够绕开封锁,确保整个半导体产业不至于被彻底卡住脖子


历史总是充满戏剧性。

一场原本意图扼杀中国半导体产业的封锁,竟意外地成了一台强大的引擎,不仅强力催生了中国本土供应链的“内循环”,也从根本上开始重塑全球市场的供需格局


最直观的变化,就是中国本土供应链自主率的惊人跃升,外部的压力越大,内部的动力就越足。

供应链的本土自产率,从2022年还只有40%的水平,到2024年已经跃升至65%,并且正朝着接近80%的目标大步迈进。


这不仅仅是光刻机本身的进步,光刻胶、掩膜版这些过去同样依赖进口的配套材料,也在被同步带动,取得了长足的进步。

一个新的产业生态正在加速形成。


国产设备为了打开市场,采取了低于进口产品的定价策略,这首先吸引了众多中小规模的晶圆代工厂开始试用,而像中芯国际这样的大厂,则承担起了更为关键的角色,进行兼容性测试

这不仅仅是测试一台机器,更是在实践中打通国产设备与整条生产线之间的“参数壁垒”,让实验室里的数据,变成流水线上的产能


这背后,是一场规模宏大的产业总动员。

超过300家企业以前所未有的力度参与到先进光刻技术的研发攻关中来,同时,国内累计申请的相关专利也超过了500项,覆盖了算法等一系列核心环节,一个以国产参数标准为核心的新生态雏形,已然显现。


这场变革的影响,也悄然辐射到了全球。

ASML虽然全球订单依旧稳定,但其对华销售额的下降,以及部分发货许可被荷兰政府撤销,使其市场结构被迫发生了变化


空出来的中端市场空白,正迅速被中国国产设备所填补国产设备在国内中端市场的份额,已经从过去的5%增长到了15%

荷兰政府的一个小动作也颇耐人寻味。


他们决定从今年1月17日起,在其出口数据中,排除掉大部分对华销售的敏感设备信息。这种信息不透明化的处理方式,恰恰说明了这场博弈的敏感性与复杂性,全球供应链的玩家们,都在重新评估风险,调整自己的位置。

回过头来看,这场围绕“技术参数”展开的争夺,早已不是单纯的技术指标比拼,它已经演变成了一场深刻影响全球政治、科技乃至产业格局的全面博弈


美国与荷兰通过精确的参数管制,在短期内确实给中国的技术追赶造成了不小的麻烦,迟滞了其前进的步伐。

但从一个更长的时间维度来看,这种极限施压,反而以一种意想不到的方式,激发了中国构建独立技术体系和完整产业链的空前决心与惊人能量

这场由一个个具体“参数”点燃的冲突,最终通向的,或许并非是发起者所设想的单极主导的技术格局,而是一个技术路线更多元、供应链分布更分散的全球半导体新世界。


笔者观点

未来的竞争焦点,恐怕已不仅仅在于谁能率先突破下一个纳米级的技术节点,更在于谁能够围绕自身的核心战略需求,构建起一个更具韧性、更能自我循环的“参数生态系统”。

当参数不再仅仅是参数,它就成了决定未来的关键变量。

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