江苏
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在半导体制造过程中，晶圆对环境的洁净度、湿度及氧化极为敏感，因此存储环节至关重要。高强氮气柜作为晶圆存储的关键设备，通过持续充入高纯度氮气，有效置换柜内空气，将氧气和水分含量控制在极低水平，从而防止晶圆表面氧化、腐蚀或污染，保障其电性能与良率。
半导体晶圆存储
现代半导体晶圆专用氮气柜采用高强度不锈钢材质，具备优异的密封性与耐腐蚀性，并集成智能控制系统，可实时监测并调节柜内氮气浓度、温湿度等参数。部分高端型号还配备多腔体分区设计、自动补气系统及防静电功能，满足不同尺寸晶圆（如8英寸、12英寸）的安全存储需求。
此外，氮气柜符合SEMI国际标准，支持与厂务系统对接，实现远程监控与数据追溯，大幅提升生产效率与工艺稳定性。该方案已成为先进半导体制造中不可或缺的基础设施之一。
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