美荷两国曾同时发声，对中国独立研发的光刻机技术给予了强烈批评

垄断壁垒筑牢，自主之路崎岖

半导体本来就是全球科技链条里最硬的骨头，光刻机更是其中的命根子。想想看，没有它，芯片就没法儿精细雕琢图案，性能直接打折。多年来，荷兰的ASML公司一家独大，市场份额稳稳占了七成多，日本尼康勉强跟上点儿边。

中国这边呢，从上世纪90年代就开始琢磨自个儿干，可技术门槛高得像座山，专利壁垒一层一层，进口设备成了常态。2023年，中国光刻机进口额超300亿人民币，高端DUV和EUV全靠海外供货，这不光是钱的事，更是产业链命门被别人捏着的感觉。

其实，早几年中国就下定决心了。国家层面的“十四五”规划里，半导体装备列为重中之重，资金砸进去上千亿。上海微电子装备公司带头冲锋，2022年他们的SSA800系列DUV光刻机开始验证，90纳米级设备在2023年交付了好几台，中芯国际北京厂直接上生产线。

产量呢？那年全国光刻机总产量124台，市场规模破160亿，可国产化率才2.5%，差距拉得老大。这里面有光源、镜头、控制系统等一堆子部件，哪个都得从零攻关。宁波南大光电搞光刻胶，福晶科技切KBBF晶体，科益虹源的248纳米准分子激光器也推出来了，功率稳在40瓦。

转到2024年，事儿更紧迫了。人工智能和5G火得一塌糊涂，芯片需求每月400万片晶圆起步，中国产量目标直奔这个数。进口数据摆在那儿，上半年87.54亿美金，全从ASML和尼康那儿来。天津港卸货的集装箱堆成山，海关检验时工人忙得脚不沾地。

可供应链风险越来越明显，美国从2018年就开始卡脖子，荷兰也跟着动。2023年9月，荷兰就要求NXT:2000系列DUV对华出口加许可，中国企业采购延误几个月，北京的供应链会上，采购经理们盯着文件算影响，头都大了。

中国这边没闲着。4月，上海浦东实验室多重曝光技术成熟，在现有DUV基础上试制出5纳米级芯片，华为深圳中心验证后直接用在新处理器上。7月，工信部推ArF光刻机，193纳米波长，分辨率控在65纳米以下。

9月9日，国产光刻机推广目录正式出炉，规范一堆，上海研讨会专家们围着表格讨论，圈圈点点。结果呢？中芯上海厂引入SMEE的90纳米机，生产线上曝光时间调好，晶圆滑过去，图案转移稳稳的。华为海思设计师导入数据，模拟电路，功耗优化了10%。

全球对比起来，就更显出这自主化的必要。ASML 2024年财报，对华出口降到20%，总销售额280亿欧元，可他们费尔德霍芬总部董事会室里，数据曲线往下弯，执行官们眉头紧锁。日本尼康份额15%，东京厂装配光学组件，测试光束均匀性，可也挡不住中国追赶的势头。

管制箭在弦上，批评声四起

2024年9月7日，这天成了半导体圈的转折点。荷兰经济事务部大楼里，新规落地，从那天起ASML的NXT:1970Ci和NXT:1980Di型号DUV光刻机对华出口，得额外许可。部长玛丽·德孔在新闻会上站定，讲台敲了敲，强调国家安全和技术优势。

闪光灯乱闪，记者追问，她简短回应，转身走人。这政策直奔中国而来，维修服务和备件供应也收紧。华盛顿那边，美国商务部没闲着，部长吉娜·雷蒙批准临时规则，涵盖半导体设备和量子计算出口管制。发布会厅投影仪亮起，她逐条解释，声音平稳，指出中国光刻机进展涉嫌逆向工程，威胁供应链。

两国步调齐了，美大使馆阿姆斯特丹递交照会，荷兰外交部书面确认。媒体炸锅，美国兰德公司9月8日报告上线，专利对比图表一目了然，标题直戳“抄袭痕迹”。华盛顿邮报社论跟进，编辑调整版面，质疑知识产权原创。

荷兰NRC晚报社论也来劲儿，措辞改了又改，“技术壁垒挑战”挂头版。CNN直播间，主播朗读专家评论，中国进展动摇稳定。ASML首席执行官彼得·温宁克总部采访，手指点桌，承认中国投入数百亿美金，可短期难匹敌光学系统。公司股价阿姆斯特丹交易所跌2%，交易员鼠标飞舞，下单抛售。

这批评不是空穴来风，而是管制的前奏。荷兰对外贸易和发展合作部9月6日宣布，扩展先进半导体设备出口管制，浸没式DUV未经授权，禁止出口。ASML EUV销售早有限制，现在DUV也加码。

中国商务部9月8日回应，注意到情况，近来中荷就半导体出口管制沟通，可荷兰这步“对齐”美国，单边主义味道重。中方表示不满，愿维护全球供应链畅通，反对任何形式霸凌。国际金融报报道，荷兰2023年首度推出许可证，此后多次扩大，2024年这轮是压力下的延续。

舆论浪潮没停。9月12日，美国国会听证会，议员木槌敲响，证人展开图表，列中国逆向案例。荷兰议会辩论，经济部长翻备忘录，回应ASML就业影响。

布鲁金斯学会分析师整理资料，打印专利列表，上传“知识产权侵蚀”。ASML供应商德国车间暂停装配，主管会议讨论延误，标记受限部件。季度电话会议，温宁克讲话，预测中国市场收缩10%，强调多元化。

中国企业没被吓住。SMEE浦东厂参数盘旋，夜班咖啡杯堆台。工信部内部会展开目录，讨论策略。华为实验室探针读取，优化曝光序列。美荷这声齐发，表面批评技术，骨子里是封锁自主。

ASML财报显示，对华占比降，可全球需求稳。公司高层预测长期潜力。这些发声，暴露霸权心态，管制升级，批评迭起，可挡不住中国脚步。话说，科技竞争本该共赢，美荷这套，只会加速别人自立。

破围自强不止，前景曙光初现

管制落地，中国没退缩，反而加速本土化。2024年10月，SMEE ArF光刻机首台验收，晶圆图案观察，线宽均匀，数据打包运中芯上海厂。浸没槽水位调好，曝光循环跑，28纳米样片转移稳。年底，28纳米浸没式原型推东莞华为厂，液膜厚度监控，激光点亮，分辨率曲线迭代。交付仪式文件交换，卡车运北京生产线。

2025年2月，芯上微装科技成立，剥离后道业务，办公室挂牌，继承订单专利。到3月底，交付第500台步进式，仓库叉车穿梭，晶圆厂全国铺开。

3月26日，深圳半导体峰会，新凯来展台演示精度仪，激光扫描，纳米偏差实时显。SMEE-3600 LDP样机华为东莞压力测试，机械臂定位，数据采集振动。第三季度试生产启动，团队轮班监控。

5月，首台28纳米浸没交付上海洁净室，真空管线连，机器启动，晶圆滑出，质检放大镜查完整。国产化率超85%，光源镜头自给。7月，EUV Hyperion-1试产，光源效率4.5%，激光诱导放电模块调整，火花闪，功率攀升。LDP方案避禁运，与ASML LPP不同。

9月17日，中芯测试宇量昇 DUV，上海初创设备拆箱安装，电缆连，软件校准。曝光序列跑，探针信号读，28纳米稳定。合作深化，会议蓝图敲定接口。23日，上海工博会，SMEE展EUV参数图，观众排队，激光笔指指标。

阿斯麦CEO访谈，中国努力，可路长。媒体爆，6月底关键突破，不同路线。电子专题报告，ASML对中国销售90亿欧元，占41%，垄断封锁出口管制。前路有阻，可曙光在前。自主不止，破围自强，中国半导体从制约到自立，靠的就是这份韧劲。

产业链优化，市场份额升，国际合作兴趣起。这些实打实的进步，回应了所有批评。话说，科技自立不是梦，得一步步走，未来光明着呢。