荷兰正式禁售DUV光刻机，中方别无选择，只能坚定自主制造破局

说起半导体这行当，谁不知道光刻机是命根子，尤其是DUV那种深紫外浸没式设备，基本是主流芯片生产的标配。2024年9月7日，荷兰政府扔出一份公告，直接把ASML的NXT:1970i、1980i、2000i及更高型号的DUV光刻机对华出口卡得死死的，得层层审批才能过关。

早从2018年美国就开始撺掇荷兰动手，起初针对EUV那套更先进的玩意儿，2019年就直接封死了中国市场大门。现在轮到DUV了，荷兰说这是为了跟盟国协调，维护技术安全，但明眼人都看得出，这棒子还是美国在后面抡。

回想2023年3月，荷兰刚开始试水，要求ASML的NXT:2050i和2100i型号出口中国得申请许可证。那时候影响还小，主要卡在高端逻辑芯片的中间层刻蚀上，这些设备能处理40纳米线宽，挺关键的。结果2024年1月2日，荷兰直接吊销了部分2023年批的许可证，ASML赶紧发声明，说少数中国客户订单泡汤了，价值好几亿美元。

ASML的首席执行官彼得·温宁克在电话会上直言，这是美国商务部评估“军用风险”后的结果，公司得照办。同期，荷兰议会还辩论了好几个月，经济部长玛丽·德·加恩一口咬定这是欧洲技术主权的需要，反对党倒嘀咕这会砸了ASML每年从中国赚的20亿欧元饭碗。辩论到6月底，法案过了，还把维修服务也管起来，ASML在北京的中心得上报每台设备的运行日志。

这波操作的根儿在美国。华盛顿从上世纪90年代就盯上ASML了，1997年搞了个EUV LLC联盟，拉着ASML在美国建厂、设研发中心，结果ASML的EUV零部件90%靠进口，美国供应商占55%。到2020年底，美国基金捏着ASML近30%的股份，EUV出口自然得听美国的。中国从2019年起就买不到EUV，只能靠DUV多重曝光勉强拼7纳米制程。

DUV不一样，它是ASML自己搞出来的，193纳米波长光源，从2003年TWINSCAN NXT:1950i首台商用机开始，就垄断了市场。到2006年，日本尼康跟风上马类似产品时，ASML早跟台积电绑死了，全球芯片产量六成以上都靠它。DUV能盖7纳米到130纳米制程，够用在手机、汽车这些日常货上，美国没主导权，所以ASML起初还能卖给中国，不用美国点头。

可美国不干啊，2023年10月单方面限了1970i和1980i的出货，ASML警告中国客户2024年起别指望这些了。2024年8月31日，美国国会中国问题特别委员会又写信给荷兰，要求卡DUV中端零配件，NXT:1980系列的镜头清洁剂和光刻胶件得审90天。9月5日，海牙最后磋商，ASML老总跟官员谈缓冲，同意现有设备升级但新机禁售。

9月7日公告一出，执行立马跟上。荷兰出口管制局设热线，第一批两台NXT:2050i卡在鹿特丹港，序列号扫码后进仓库。中国客户视频会议上听ASML协调员解释，审批30到60个工作日，成功率看“盟国一致”。9月底，五份许可证拒了三份，全是28纳米模块。

这禁售的冲击可不小。2024年上半年，中国光刻设备进口超80亿美元，ASML占大头。中国是全球最大半导体消费地，2023年产能利用率85%，靠DUV囤货勉强撑。禁售后，晶圆厂闲置率升到12%，中芯国际公开说优先用库存DUV推14纳米线。

全球看，台积电在亚利桑那多买20% DU V设备补缺。荷兰商会报告，2024年9月ASML本地就业申请降8%，供应商蔡司光学订单滑坡。ASML股价9月7日跌2.4%，收650欧元。中国市场对它营收贡献2023年49亿欧元，占29%；2024上半年升到35%，全靠囤货。现在呢，2025年预测中国订单只占18%。

日本也跟风，2024年9月经济产业省限尼康高分辨镜头对华出货。美国9月10日更新实体清单，加三家中国光学材料商。全球半导体设备商会9月15日在台北开紧急会，预计2025年亚洲产能利用降3%。ASML 2025年1月报告，中国订单全年预期18%；3月7日宣布北京新维修中心，但只限2023年前设备。

5月荷兰审首季度许可证，批62%。7月10日财报，中国销售占27%，营收还涨12%，靠三星EUV订单。10月15日三季度数据，中国系统销售25%，2.4亿欧元，但维修滑10%。荷兰对华出口整体2025年4月报显示，芯片机订单清库存后直线下滑。

这套组合拳，美国想把中国摁在7纳米以下，保自己半导体链主导。DUV虽主流，但EUV才指向5纳米以下未来。ASML CEO在2024年12月27日访谈说，美国禁EUV让中国落后西方10-15年。可DUV禁售呢？常规芯片需求最大，中国市场丢了，ASML自己也肉疼。2024年对华销售一度49亿欧元，现在2025年缩水到20%，公司高管10月财报上承认，管制让维修受限，损失数亿。

荷兰首相8月31日表态，经济利益极重要，可还是听了美国的。彭博社报，荷兰可能限ASML售华售后服务，但首相说会顾及ASML利益。结果呢，2025年1月17日，荷兰政府把大部分ASML对华销售排除在“双用”出口披露外，藏着掖着。

中国这边呢？禁售一出，别无选择，只能咬牙自力更生。国家集成电路产业投资基金2024年9月后加码50亿元，砸向上海微电子装备（SMEE）的28纳米浸没机。SMEE从90纳米起步，2024年实现90纳米批量出货，2025年扩展到28纳米验证，年产能百台。企业团队拆库存设备，逆向光源稳定和镜头算法。2025年1月7日，首台国产28纳米机交付中芯国际，曝光精度38纳米线宽。维修转内部培训，减ASML依赖，确保线跑起来。

不止SMEE，2025年国产光刻机群星闪耀。8月，AMIES出货第500台步进式光刻机，占国内90%市场份额。这家二月新公司，主攻中低端，填补空白。宇量昇跟中芯国际合作测试，数据良率稳90%以上，成本比ASML低30%。

中芯国际测试国产DUV，国内市场占有从2019年4%升到2023年14%，2025年继续爬。9月24日，上海微电子600系列90纳米量产，28纳米浸没研发中。宇量昇测试是突破信号，成本低、稳定好。

EUV那边更带劲。2025年第三季度，中国自产EUV机试生产，用激光诱导放电等离子体（LDP）技术，颠覆ASML的激光产生等离子体（LPP）方案。3月，首台LDP样机SMEE-3600在华为东莞厂压力测试。供应链国产化，徐州博康EUV光刻胶、中微半导体刻蚀机，超2000家企业协作。8月25日，3纳米试产进展显著。9月24日，电子束光刻机首秀，商用级，填补高端空白。10月，中国公司展出一堆创新：光刻工具、软件设计、阻剂，全线推进自给。

可别以为一帆风顺。逆向工程有坑，2025年10月，一中国公司拆ASML DUV后组不回去，找ASML要技术支持，闹出笑话。CSIS9月24日报告说，中国光刻突破多是宣传，实际落后。高盛9月25日调研，中国先进半导体技落后西方20年。

中芯国际7纳米靠N+2重复曝光，65纳米以上国产稳定，28纳米单次曝光还努力。挑战在光源稳、镜头准、曝光台控、维护难。2025到2028年，28纳米浸没DUV量产和良率是关键点。

中国有完整产业链和上游原料优势，稀土出口控2025年10月15日让ASML备战库存，长交期帮了大忙。ASML三季度报，中国需求2026年暴跌，北京双下本土化。全球看，中国产能扩，SMIC投亿级，国家背书。