来源:北京时间
近日,记者从怀柔仪器和传感器硬科技孵化器获悉,中科微世(北京)科技发展有限公司通过自主研发,成功攻克离子束设备国产化技术难关,为高精度核心敏感器件制造这一“卡脖子”领域提供了自主可控的解决方案。
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在高端仪器、传感器制造领域,核心敏感器件精度、灵敏度、稳定性不足的问题,长期制约着产业发展。“这类问题常被理解为半导体工艺所致,实则部分痛点是半导体工艺难以解决,而这恰恰是离子束技术的突破方向。”中科微世总经理江涛介绍,企业高端制造中的核心器件难题,亟需更精准的技术支撑。
离子束刻蚀、镀膜工艺被喻为精密制造的“高精度手术刀”。依托该技术,中科微世研发的核心敏感器件具备“高精度、高稳定、高灵敏”特性,覆盖非硅微纳芯片、薄膜新材料等领域,可广泛应用于航空航天、轨道交通、电力电网、石化、新能源、量子超导、医疗、防伪、AR智能眼镜、MEMS等多场景。“例如,离子束设备能提升AR智能眼镜镜片的高透光率、扩大视场角,避免彩虹纹现象,这正是其光学模组未来发展的重要趋势。”江涛举例道。
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