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金融界2025年8月26日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“具有可抽真空测试腔的测试系统”的专利，公开号CN120548463A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，本发明涉及一种测试系统(1)，其具有测试腔(2)，被测对象能布置在该测试腔中，其中，所述测试腔(2)具有至少一个限定测试腔(2)的腔室壁(3)，其中，测试腔(2)配有第一真空发生器(12)以便能够在测试腔(2)中产生真空，并且其中，腔室壁(3)具有开口(4)，该开口配有传感器模块(5)，其中，传感器模块(5)具有支架元件(6)以及传感器(10)、尤其光学传感器、温度传感器、压力传感器、气体传感器或摄像机传感器，所述支架元件以封闭开口(4)方式布置在腔室壁(3)上，所述传感器布置在支架元件(6)的朝向测试腔(2)的一侧。在此规定，在腔室壁(3)的背离测试腔(2)的一侧构造有配属于开口(4)的负压腔(17)，并且负压腔(17)配有负压发生器(19)以便能够独立于测试腔(2)中的真空地在负压腔(17)中产生负压。
本文源自：金融界
作者：情报员
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