北京
金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，精工锐意科技（河南）有限公司申请一项名为“一种低翘曲度多晶金刚石薄膜及其制备方法”的专利，公开号CN120519820A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明提出了一种低翘曲度多晶金刚石薄膜及其制备方法，包括如下步骤：S1、在单晶硅衬底的一侧表面上沉积一层热膨胀系数低于单晶硅的中和材料，形成中和层；S2、单晶硅衬底的另一侧表面进行机械研磨处理并清洗干净；S3、将处理后的单晶硅衬底放入微波等离子体化学气相沉积设备中，且中和层朝下与钼托盘接触，进行多晶金刚石薄膜的生长。本发明采用物理或者化学气相沉积法在双层复合结构中引入第三种异质材料，其热膨胀系数低于单晶硅，降温时能够有效调整多晶金刚石薄膜和单晶硅之间的收缩差，有效降低多晶金刚石薄膜复合衬底的翘曲度；本发明的方法得到的多晶金刚石薄膜翘曲度低，能够有效降低后续研磨抛光时间，降低光学、热沉用多晶金刚石薄膜的制造成本。
天眼查资料显示，精工锐意科技（河南）有限公司，成立于1990年，位于郑州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，精工锐意科技（河南）有限公司参与招投标项目120次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
