北京
金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司取得一项名为“一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT”的专利，授权公告号CN223249790U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT，涉及半导体工艺技术领域，包括衬底和压电层，衬底具有相对的正面和背面，压电层位于衬底的正面，压电层包括依次层叠设置的底电极、压电薄膜和顶电极，顶电极包括由至少三组悬臂梁组成的多边体，悬臂梁的横截面为多组梯形拼接形成的多边形，梯形的拼接处形成集中应力的应力拐角，多组悬臂梁通过空气热黏合为一个环形的整体，顶电极的中部为多组悬臂梁拼接形成的等边的中心孔，靠近中心孔一端的相邻悬臂梁之间形成拼接缝。悬臂梁的应力拐角使PMUT振膜应力集中，较传统的直梁、梯形梁和三角梁具有更好的性能，每组悬臂梁长度不同，形成长度不一的谐振梁，长度不一的谐振梁带来了大带宽。
天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息94条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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