北京
金融界2025年8月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海图双精密装备有限公司申请一项名为“用于检测孔径光阑轴向定位的成像系统和方法、以及包括成像系统的光刻设备”的专利，公开号CN120491405A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本公开涉及用于检测孔径光阑轴向定位的成像系统和方法、以及包括成像系统的光刻设备。根据本公开的用于检测孔径光阑轴向定位的成像系统可包括：集光透镜；聚光透镜；设置在集光透镜与聚光透镜之间的孔径光阑，其中孔径光阑包括标记单元；以及布置在所述聚光透镜之后的物镜和相机，其中所述物镜和所述相机用于探测所述标记单元上的标记。根据本公开的成像系统采用物镜和相机来探测孔径光阑的标记单元上的标记，并通过探测到的图像来确定孔径光阑轴向定位和/或生成用于孔径光阑的校准指令。根据本公开的成像系统在原有成像系统的基础上便捷地更换孔径光阑以实现对孔径光阑轴向定位的自动检测和快速校准。
天眼查资料显示，上海图双精密装备有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本2281.86万人民币。通过天眼查大数据分析，上海图双精密装备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目25次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息109条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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