金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,宜宾英发德耀科技有限公司申请一项名为“一种PE-Poly新舟用本征硅饱和镀舟的方法”的专利,公开号CN120485747A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明公开了一种PE‑Poly新舟用本征硅饱和镀舟方法,适用于N型TOPCON电池生产工艺。该方法通过优化石墨舟预处理及镀膜工艺,解决了传统氮化硅饱和镀舟工艺中存在的时间长、成本高、良率差的问题。具体步骤如下:石墨舟准备:通过高压去离子水冲洗、超声清洗,去除表面杂质后装入PECVD设备腔室。预处理镀膜:仅通入10000sccm硅烷气体,在射频功率1000‑1200W、腔室压力100‑120Pa条件下放电沉积700秒,填充石墨舟表面≥5μm大孔隙。饱和镀膜:同时通入10830sccm硅烷与1625sccm氮气,维持相同放电参数3700秒,沉积本征硅以填充1‑5μm中小孔隙,形成致密导电镀层。无需使用腐蚀性氨气,降低设备维护成本,适用于大规模工业化生产。
天眼查资料显示,宜宾英发德耀科技有限公司,成立于2022年,位于宜宾市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本168750万人民币。通过天眼查大数据分析,宜宾英发德耀科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目44次,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可266个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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