毫束科技张刚：以创新热血，浇筑半导体装备攻坚之路

（来源：芯榜晋江）

电子源是电子光学系统的核心部件，科技含量极高，其研发涉及材料科学、真空技术、电子发射理论、精密制造与控制等多学科交叉领域，需解决电子发射稳定性、亮度、寿命、抗污染能力等关键技术难题，例如热场发射电子源需精准控制针尖曲率半径与工作温度以实现高效电子发射，且制造工艺复杂，对设备精度和洁净环境要求苛刻。

从商业角度来看，电子源广泛应用于半导体量测CD-SEM、检测EBI设备、Review SEM、电子束曝光机EBL、科学仪器SEM、TEM、FIB设备，不过其市场容量小。数据显示，电子源全球市场年销售额约2亿人民币，中国市场年销售额约7千万人民币。

年轻有为打破海外垄断

由于技术壁垒较高，全球电子源领域长期被赛默飞世尔(原FEI)、Denka 和YPS 、JEOL和日立等海外企业垄断。电子源作为核心部件，一旦遭到断供，将给国内半导体产业发展和科学研究造成重大阻碍。

在国产技术突破的时代呼声中，张刚怀揣满腔热忱，于2022年5月毅然创办毫束科技（北京）有限公司。他以赤子之心锚定 “卡脖子” 难题，在电子源领域深耕细作，如灯塔般照亮国产替代的探索之路，用创新热血浇筑技术攻坚的坚实基石，开启了破局国产电子源依赖进口的新征程。

张刚，河北石家庄人，出生于1988年，2008至2012年，就读于南昌航空大学金属材料专业。毕业后，他先后供职于中航工业安庆集团、中科院半导体研究所、ASML、东方晶源等单位，从事技术研发。过往履历不仅丰富了他的跨学科研究经验，如在金属材料、半导体材料、PVD、MOCVD、半导体激光器、电子光学等领域都有较深入研究，尤其是对热场电子源领域的研究，也让他获得了深厚的技术储备，为日后成功奠定了基础。

毫束科技（晋江）有限公司创始人、总经理张刚

功夫不负有心人。历时两年潜心研发，他带领毫束科技成功研发出国内首款，也是迄今为止，

唯一一款商业化级别的纯国产热场电子源，成功填补国内空白。其产品不仅得到了国内一众客户的认可，还签订了战略合作协议。

毫束科技研发的热场电子源，具有更小的总发射电流，更高的亮度。据张刚介绍，公司热场电子源亮度可达E9A/cm2，角密度可达到2000uA/sr/12KV，均超过进口同类产品。目前，公司电子源稳定性良好，在晶圆厂产线已经稳定运行超过9000h。

毫束科技自研国产电子源实物

据了解，在研发热场电子源过程中，如何维持电子源发射束流的稳定性和寿命问题是最大的技术难题。首先，半导体关键尺寸量测设备，要求打到样品上的电流在5-8pA，波动幅度不超过2%，这一难度很高，对品控要求很高。其次，寿命问题也是巨大挑战，客户要求产品寿命至少能达到2年，即16000h。这就意味着，毫束科技热场电子源产品，不仅自己测试周期需要16000h，客户导入测试周期同样如此。

谈至于此，张刚坦言道：“在如何缩短测试周期上，长期没找到替代方案，只能去慢慢熬时间。因为任何加速老化的措施，都可能损害电子源发射束流的稳定性，得到寿命参数，却失去了稳定性参数。”

不过，尽管张刚和他带领的毫束科技研发成果令人振奋，但实际上，公司研发的“纯国产”电子源产品在市售和推广方面，遇到了不小阻碍。对此，张刚表示，一方面海外同类产品还未被完全禁售，国内可直接购买，也可通过第三方贸易商获得；另一方面，本土客户对于国产替代产品的稳定性、寿命，仍信心不足，他们不愿意尝试国产替代产品。简而言之，本土大多数客户，宁愿“外购”，也不用国货“将就”，除非他们被逼至绝境。所以，毫束科技目前的主要客户是一些实实在在支持国产供应链的本土设备厂商和一些受到制裁的Fab工厂。

当前，毫束科技主要以“纯国产”热场电子源产品（涉及extractor和suspresser结构）为核心，既可单独研发热场电子源，也可根据客户需求，将热场电子源匹配安装肖特基模组或extractor的模组(装配精度≤0.03mm)。此外，根据张刚个人构想，短期公司有望向半导体设备集成商角色转变，长期公司将向太空领域拓展。

受务实所感染 结缘晋江

在公司创立伊始，虽有投资者承诺投资数百万元，但结果是无疾而终。然而，对于创业者而言，一旦迈出创业第一步，就意味着“开弓没有回头箭”。

自2022年5月创立毫束科技（北京）有限公司，在大约两年的时间内，张刚将此前多年积累的两三百万积蓄，几乎悉数投入新公司的运营和产品研发中。期间，公司虽有些许订单收入，但对于常规经营，依旧杯水车薪。

在公司走上正规之后，张刚虽也接触过其他外部投资人，或有被其他公司收购而成为高级合伙人的机会，但他以“电子源为终身事业”的执念早已根深蒂固，在深思熟虑之后，最终还是放弃外部提供的优厚条件，依旧选择自己作为一手创办公司的“掌舵人”。

此后，随着获得天使轮融资，他才将创业理想之地转向晋江——福建省泉州市下辖的半导体产业新兴之城，并成立毫束科技（晋江）有限公司。

回顾过去为何选择将公司落地晋江，张刚记忆犹新。

“晋江对集成电路产业发展的支持力度和政府招商力度，礼贤下士，（让）我记忆非常深刻。”据他回忆道：“晋江集成电路园区管委会在一次招商引资的会议上提到，晋江的‘四到’服务理念，我觉得很接地气，很实在，没有那么多假大空。”

正因晋江政府领导班子的务实作风，所以张刚最终将毫束科技落地晋江。于是，后来就有了， 2024年10月17日，张刚携全家人飞抵晋江，次日，全家被安排住进人才公寓，19日，又安排了子女入学.....

在毫束科技落地晋江后，福建省晋江集成电路产业园区在招商政策、人才政策、子女上学、对接当地客户资源方面，提供了很多帮助。在张刚看来，当时晋江相关部门给他们充当了后勤部长的角色，完全不用为这些事情操心，自己一心想着把企业办好就可以了。

入驻晋江芯智造产业园后，毫束科技的短期目标是产品能导入国内头部客户去进行长时间的测试，长期发展目标是公司热场电子源要提高产量、提高品质，能经受住市场的考验，逐步替代进口产品，占领国内市场，确保晶圆厂供应链安全。

张刚指出，从战略角度看，入驻晋江对毫束科技在研发和业务拓展存在一些积极的影响，感觉自己肩上的担子更重了，晋江对公司如此重视，一定要取得一些大的成果，才不负期望。

从公司长远未来来看，毫束科技重点研发方向是，开发出满足客户需求的热场电子源，比如在高亮度、低能散，帮助客户开发设计出各种高性能的电子束设备，比如高分辨率设备、比如大束流设备等。毫束科技是以客户需求为导向的，帮助客户解决他们自身的需求，同时公司获得客户的资金回报。

开启新征程 融入泉厦金示范区

在半导体装备零部件细分领域，晋江不止有像毫束科技这样初创型新锐企业，还包括诸如杰为、良颐、芯宝、思沃、亮点、精电光科等，具备一定规模和技术创新型的企业矩阵。

依托完备的产业链集群优势，晋江市近年来持续释放产业磁吸效应，累计吸引超50个优质产业链项目落地，总投资规模突破千亿级大关，逐步打造具有全国影响力的产业集聚高地，构建了涵盖集成电路设计、制造、封测、装备零部件、材料、配套服务、终端应用的全产业链，并延伸至人工智能、智能穿戴等新一代信息技术领域。

2025年作为“十四五”收官与 “十五五” 开篇的关键节点，晋江市于5月9日召开集成电路产业发展领导小组会议。

会议讨论了产业发展成效、年度计划及“十五五”规划思路。会议明确，晋江集成电路产业是晋江新兴产业的重要主体、高质量发展的重要支撑、创新引领的重要载体、“四链融合”发展的重要典型。要依托两岸融合与民营资本优势，围绕产业链部署创新链、围绕创新链布局产业链，持续锻长板、强弱项，举全市之力推动集成电路产业发展壮大。要启动晋江集成电路产业“十五五”规划编制，靶向招引强链补链项目，主动融入泉厦金合作发展示范区建设。

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