北京
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，中用科技有限公司申请一项名为“基于FOUP内层间AMC分布的晶圆制程环节污染源识别方法”的专利，公开号CN120408106A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明公开了基于FOUP内层间AMC分布的晶圆制程环节污染源识别方法，涉及污染源识别技术领域，该方法包括：分析气流扰动与污染物扩散特征，制定外部检测器部署策略，并实时采集污染物浓度与关联设备运行参数；建立污染物浓度的时空矩阵，并利用小波变换提取污染物浓度变化的梯度特征，结合关联设备的运行参数，获取污染源的初步位置数据；构建时空网格化输入矩阵，并设计双分支深度学习模型，生成污染源定位概率图，获取污染源的位置数据；评估各关联设备对污染物扩散的贡献权重，制定并执行定向治理策略。本发明可以准确地定位污染源位置，提高污染源识别的准确性和响应速度。
天眼查资料显示，中用科技有限公司，成立于2014年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5550万人民币。通过天眼查大数据分析，中用科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息188条，此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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