北京
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板加工装置和基板加工方法”的专利，公开号CN120221443A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种基板加工装置和基板加工方法。在实施方案中，基板加工方法包括：装载步骤，在装载步骤中将基板装载到设置在腔室中的处理空间中；排出步骤，在排出步骤中在装载步骤之后排出处理空间中的气氛；加压步骤，在加压步骤中在排出步骤之后通过将处理流体供应至处理空间来对处理空间进行加压；处理步骤，在处理步骤中在加压步骤之后使用供应到处理空间中的流体来处理处理空间中的基板；以及减压步骤，在减压步骤中在处理步骤之后对处理空间进行减压。
本文源自：金融界
作者：情报员
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