北京
金融界2025年6月27日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种边缘进气匀气结构及等离子刻蚀机”的专利，公开号CN120221367A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种边缘进气匀气结构及等离子刻蚀机，包括气槽板，多个呈环状布置的匀气喷嘴，以及驱动匀气喷嘴围绕自身轴线转动的驱动组件，其中，气槽板连通边缘气源和匀气喷嘴；边缘气源通过气槽板设置的进气气路向匀气喷嘴的多条喷气气路提供稳定的工艺气体；驱动组件驱动多个匀气喷嘴围绕自身轴线转动预设角度，以调整工艺气体的喷射角度，使得工艺气体在中心和边缘之间的区域喷射。本发明的边缘进气匀气结构边缘气源通过该气槽板设置的进气气路向匀气喷嘴提供稳定的工艺气体，并通过设置在匀气喷嘴的喷气气路，以在中心和边缘之间的区域喷射工艺气体，从而改善工艺气体的均匀性，改善了等离子刻蚀机刻蚀速率的均匀性。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息446条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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