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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“气体喷射设备、基板处理设备和薄膜沉积方法”的专利，公开号CN120202323A，申请日期为2023年09月。
专利摘要显示，本发明涉及一种气体喷射设备、基板处理设备和薄膜沉积方法，更具体地，涉及一种通过向基板上喷射气体来沉积薄膜的气体喷射设备、基板处理设备和薄膜沉积方法。根据本发明的实施例的气体喷射设备包括：第一电极，第一电极中独立地设置有第一气体供应路径和第二气体供应路径，并且第一电极具有分别连接到第一气体供应路径和第二气体供应路径的第一气体供应孔和第二气体供应孔；以及第二电极，第二电极与第一电极电绝缘，与第一电极间隔开，并且具有被布置为与第一供应孔和第二供应孔不重叠的多个开口。
本文源自：金融界
作者：情报员
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