北京
金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海精积微半导体技术有限公司申请一项名为“物镜远心度测试方法及系统”的专利，公开号CN120176992A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种物镜远心度测试方法及系统，该方法涉及半导体量测技术领域，该方法包括：提供照明光，照明光经物镜汇聚入射至位于运动台上的测试掩膜版，照明光经测试掩膜版反射后被物镜收集并达到相机以生成测试掩膜版的图像；通过自动调焦系统获取物镜的焦平面位置，然后调整运动台的垂向位置，使得测试掩膜版位于物镜的焦平面位置；以预设步长移动运动台计算每次移动后测试掩膜版的离焦量，并通过相机采集不同离焦量时的空间像；将空间像与标准图像进行比对，得到对应于每个离焦量的成像位置偏差；获取成像位置偏差与离焦量的线性关系；基于线性关系计算物镜的远心度。本发明通过精确量测物镜的远心度，以验证光学元件的质量和性能。
天眼查资料显示，上海精积微半导体技术有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本45927.5万人民币。通过天眼查大数据分析，上海精积微半导体技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息8条，专利信息67条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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