金融界2025年6月18日消息,国家知识产权局信息显示,宁波上航电力科技有限公司申请一项名为“一种电力电子器件芯片生产用晶圆减薄辅助机”的专利,公开号CN120155861A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明公开了一种电力电子器件芯片生产用晶圆减薄辅助机,涉及半导体技术领域,包括机床,所述机床的顶部设置有研磨装置,所述研磨装置包括驱动机构、机械臂和研磨机,所述驱动机构固定贯穿在机床的顶部,所述机械臂固定安装在驱动机构的控制端,所述研磨机固定安装在机械臂的输出端,所述机床靠近研磨机的一面固定安装有轨迹板,所述机床的内部固定安装有支撑框,所述支撑框的内壁固定安装有线性驱动机构,所述线性驱动机构的输出端固定安装有升降板,通过研磨机“8”字运动轨迹能够形成向晶圆中央及向边缘的循环摩擦力,能够有效避免晶圆边缘晶体颗粒脱落形成毛疵,从而影响晶圆的减薄质量。
天眼查资料显示,宁波上航电力科技有限公司,成立于2025年,位于宁波市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波上航电力科技有限公司专利信息1条。
本文源自:金融界
作者:情报员
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