北京
金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种磁控管的设计方法、磁控管和磁控溅射设备”的专利，公开号CN120162839A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种磁控管的设计方法、磁控管和磁控溅射设备，设计方法包括：根据磁控管的磁极排布，仿真获得磁控管在靶材表面任一半径处的磁场弧线上各点的水平磁场强度，根据靶材表面任一半径处的磁场弧线上各点的水平磁场强度以及水平磁场强度与靶材腐蚀概率的函数关系，获得靶材表面任一半径处的腐蚀概率，根据靶材表面多个半径处的腐蚀概率，确定磁控管的磁极排布是否达到设计要求，从而不需要利用靶材进行磁控溅射实验，来获得靶材表面的腐蚀数据，进而可以降低磁控管的设计成本，缩短磁控管的设计周期。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1068次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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