北京
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，江苏晟驰微电子有限公司申请一项名为“一种提高晶圆表面洁净度的清洗装置及其使用方法”的专利，公开号CN120133213A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种提高晶圆表面洁净度的清洗装置及其使用方法，涉及半导体制造技术领域，包括清洗装置主体，清洗装置主体的底壁安装有冲洗液回流组件，冲洗液回流组件包括安装在清洗装置主体底壁的集液槽，集液槽的内部安装有交错布置的Z形过滤板；集液槽的背面贯穿安装有回流管一，回流管一的一端安装有混流泵三，混流泵三的一端安装有回流管二，回流管二的一端贯穿安装有回流箱；集液槽的底部为倾斜状，集液槽的内壁采用聚四氟乙烯材料制成，集液槽的内壁涂覆有纳米涂层。本发明通过在清洗装置主体的底壁安装冲洗液回流组件，可以解决现有清洗装置中清洗液回收效率低、杂质过滤不充分以及清洗液废弃处理成本高且污染环境的问题。
天眼查资料显示，江苏晟驰微电子有限公司，成立于2017年，位于南通市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本7902.5万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏晟驰微电子有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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