金融界2025年6月13日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“基于19寸热场拉制小直径晶棒的拉晶方法及小直径晶棒”的专利,公开号CN120138777A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,一种基于19寸热场拉制小直径晶棒的拉晶方法及小直径晶棒,采用19寸热场进行拉制,相应的拉晶方式如下,在引晶阶段,坩埚转速为13~15rpm,晶棒转速为11~13rpm;在放肩阶段,坩埚转速为9~15rpm,晶棒转速为11~13rpm;在转肩阶段,坩埚转速为9~11rpm,晶棒转速为19~21rpm;在等径阶段,坩埚转速为9~11rpm,晶棒转速为19~21rpm;在收尾阶段,坩埚转速为9~11rpm,晶棒转速为19~21rpm。本发明通过优化热场结构、以及增大热场尺寸,热量传递更加均匀,减小径向温度梯度,从而提高温度均匀性。通过控制坩埚及晶棒的转速,可以优化硅液的对流模式,提高晶体生长界面的稳定性,减少晶体生长界面的温度波动,降低晶体缺陷率,提高晶体的电学性能。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息287条,此外企业还拥有行政许可24个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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