金融界2025年5月24日消息,国家知识产权局信息显示,江苏中胜微科技有限公司申请一项名为“一种真空镀膜方法”的专利,公开号CN120026305A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,本发明公开了一种真空镀膜方法,属于光伏设备及半导体设备镀膜技术领域,该一种真空镀膜方法,包括如下步骤:对载板预热;将衬底从上料平台放置到载板上,再将载板以及衬底传送至装载腔,对装载腔做抽真空处理,直至装载腔与预热腔真空度一致;将载板和衬底传送至真空环境的预热腔,在预热腔内将衬底加热至预设温度,预热过程中对装载腔破真空处理。本方法采用反应气体和惰性吹扫气体同时输出的方式,相较于传统的时间型通源1‑吹扫‑通源2‑吹扫工艺步骤,节省了大量惰性气体吹扫时间,工艺时长仅由载板摆动速度及摆动周期数决定,沉积指定厚度薄膜的工艺时间显著减少,极大提升了工业生产效率。
天眼查资料显示,江苏中胜微科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏中胜微科技有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息5条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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