北京
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，江苏中胜微科技有限公司申请一项名为“一种真空镀膜方法”的专利，公开号CN120026305A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明公开了一种真空镀膜方法，属于光伏设备及半导体设备镀膜技术领域，该一种真空镀膜方法，包括如下步骤：对载板预热；将衬底从上料平台放置到载板上，再将载板以及衬底传送至装载腔，对装载腔做抽真空处理，直至装载腔与预热腔真空度一致；将载板和衬底传送至真空环境的预热腔，在预热腔内将衬底加热至预设温度，预热过程中对装载腔破真空处理。本方法采用反应气体和惰性吹扫气体同时输出的方式，相较于传统的时间型通源1‑吹扫‑通源2‑吹扫工艺步骤，节省了大量惰性气体吹扫时间，工艺时长仅由载板摆动速度及摆动周期数决定，沉积指定厚度薄膜的工艺时间显著减少，极大提升了工业生产效率。
天眼查资料显示，江苏中胜微科技有限公司，成立于2024年，位于无锡市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏中胜微科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息5条，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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